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何常德

作品数：152 被引量：129H指数：7
供职机构：中北大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 90篇专利
  • 59篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 42篇电子电信
  • 37篇一般工业技术
  • 37篇理学
  • 22篇自动化与计算...
  • 12篇机械工程
  • 4篇电气工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇化学工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 56篇换能器
  • 53篇超声
  • 48篇声换能器
  • 47篇超声换能器
  • 46篇电容
  • 45篇电容式
  • 39篇微机械
  • 38篇传感
  • 37篇感器
  • 37篇传感器
  • 21篇压阻
  • 20篇水听器
  • 18篇矢量
  • 17篇声传感器
  • 16篇电极
  • 16篇压阻式
  • 15篇矢量水听器
  • 13篇速度传感器
  • 13篇加速度
  • 13篇加速度传感器

机构

  • 151篇中北大学
  • 3篇北京大学
  • 3篇国网山西省电...
  • 2篇北方工业大学
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  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇北京宇航系统...
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作者

  • 152篇何常德
  • 125篇张文栋
  • 79篇张国军
  • 67篇薛晨阳
  • 41篇王任鑫
  • 37篇王红亮
  • 35篇杨玉华
  • 28篇崔建功
  • 21篇熊继军
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  • 13篇宋金龙
  • 13篇苗静
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  • 9篇宛克敬
  • 9篇于佳琪
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传媒

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  • 10篇仪表技术与传...
  • 7篇压电与声光
  • 7篇传感器与微系...
  • 6篇应用声学
  • 3篇电测与仪表
  • 2篇测试技术学报
  • 2篇传感技术学报
  • 1篇振动．测试与...
  • 1篇机械传动
  • 1篇半导体技术
  • 1篇自动化与仪表
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇电气电子教学...
  • 1篇中国医学物理...
  • 1篇微电子学
  • 1篇机械制造与自...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇计算机测量与...
  • 1篇2013‘全...

年份

  • 2篇2024
  • 18篇2023
  • 25篇2022
  • 16篇2021
  • 3篇2020
  • 10篇2019
  • 7篇2018
  • 13篇2017
  • 8篇2016
  • 11篇2015
  • 8篇2014
  • 10篇2013
  • 13篇2012
  • 6篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 152 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种电容式微机械超声传感器特性分析方法
一种电容式微机械超声传感器特性分析方法，目的是对不同发射信号情况下位移、加速度、声压特性和接收特性进行有效分析；本发明先建立处于发射状态时CMUT微元状态方程-SIMULINK模型和处于接收状态时CMUT微元状态方程-S...
王红亮何常德薛晨阳王朝杰崔娟
面向声压传感的硅基槽式谐振腔设计及研究被引量：1
2023年
针对硅基波导腔在折射率传感领域的应用,提出了一种使用低杨氏模量的聚合物SU8作为上包层的硅基槽式微环谐振腔结构。基于耦合模理论优化了硅基槽式微环谐振腔的传输特性和特征参量,并分析了声压传感机理;采用MEMS工艺进行了器件的加工制备,并利用高温氮退火的方式对波导表面进行了光滑化处理;搭建了测试平台,对制备得到的谐振腔进行测试。测试结果表明:品质因数(Q值)可达2.76×10^(4),声压灵敏度可达2.19×10^(3)mV/kPa。相较于传统的全通型硅基波导微环谐振腔,文中设计的使用SU8封装的硅基槽式微环腔对光场的局域能力更强,在声压传感领域有着更好的应用潜力。
祝敏张文栋崔建功楚晓霞余亚鑫张国军王任鑫何常德杨玉华
关键词：微环谐振腔折射率传感品质因数
电容式微超声波换能器的设计与电容值测试被引量：3
2018年
该文通过对电容式微超声波换能器电容值测试分析了传感器的电容性能。该文设计的电容式微超声波换能器是由电容阵列组成的,主要是利用电容的改变来实现能量的转换。它是基于硅硅键合技术的微机电系统的电容式超声传感器,由其制作的传感器误差小、工艺流程简单且能进行量产。利用E4990A阻抗分析仪测试传感器电容值在工作电压下随频率的变化,得出频率为400 k Hz时电容值为617.67 p F。并且利用该仪器对传感器进行C-V测试分析而得出其电容的实际值与理论值的误差仅为1.6%。所得结果为对传感器进行理论计算提供了重要支撑,并且为后续转换电路的设计提供了数据支撑。
贾利成何常德杜以恒薛晨阳张文栋
关键词：微机电系统
CMUT面阵制备中的硅通孔金属互连工艺设计被引量：1
2021年
CMUT面阵上电极引线随着阵列数目的增多越来越难实现,根据这一情况提出使用硅通孔互连的方法将上电极引到器件背面,通过通孔和微凸点实现与PCB板的垂直电连接。根据实际需求,设计一种基于CMUT面阵的无电镀硅通孔金属互连制备方法,采用深硅刻蚀技术得到通孔,使用磁控溅射镀膜机在通孔内壁沉积金属,实现了任意尺寸硅通孔的快速金属互连。通过比较不同尺寸的通孔直径,实验分析确定380μm厚的硅片最优通孔直径为150μm,此孔径通孔垂直度高,通孔间的电阻均相对较小约为0.6~0.9Ω,通孔导通良好。同时,深硅刻蚀后的通孔都存在过刻现象,在过刻25μm以内,金属图形化时应该留有足够安全距离,为CMUT面阵换能器制备提供实践依据。
王月何常德张文栋
关键词：磁控溅射金属互连
电容式微机械超声换能器的水下收发性能被引量：2
2023年
为满足水下超声探测的应用需求,设计了一种采用硅基集成电路制造工艺制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)。首先介绍了CMUT的工作原理及其结构参数,然后完成了CMUT的水密封装,最后对封装后CMUT的电容-电压(C-V)特性、发送电压响应级、接收灵敏度与回波信号进行测试。测试结果表明,封装后的CMUT具有良好的C-V特性,电容变化量最大可达313.7 pF,其发送电压响应级最大值为163.83 dB@2 MHz,接收灵敏度最大值为-228.27 dB@1 MHz,因此其在水下环境具备良好的发射超声波与接收超声波的能力。该研究结果为高密度CMUT阵列的设计和封装及水下超声探测提供了理论和应用依据。
党荣卢小星何常德彭波张国军王任鑫杨玉华崔建功张文栋
“集成电路分析与设计”课程的实验教学方法改革被引量：1
2011年
本文以"集成电路分析与设计"课程的一个实验"D触发器设计"为例,介绍一种实验教学方法,帮助学生掌握全定制集成电路设计流程和使用集成电路设计相关EDA软件,达到学生能够独立进行集成电路设计的目的。教学实践证明,该教学方法切实可行,具有良好的教学效果。
何常德张国军刘俊
关键词：实验教学集成电路设计D触发器
水下探测微电容超声波换能器线阵设计与封装被引量：6
2019年
提出一种应用于水下探测的低频微电容超声波换能器阵列。在分析微电容超声波换能器阵列复合结构和工作原理的基础上,建立了换能器阵元和一维线阵的指向性表达式,并通过分析结构参数对指向性的影响,确定了阵列几何参数。针对微电容超声波换能器水下应用需求,研究了阵列水下封装方法,通过封装结构设计和封装材料的选取,完成了换能器阵列水密封装。同时,制定了换能器阵列性能测试方案,并搭建了相应的测试、探测系统,经测试换能器线阵-3dB主瓣宽度为5°,最大旁瓣级为-13.5dB,可实现水下1m范围内的目标清晰探测。实验表明,提出的微电容超声波换能器阵列设计和封装方法合理,为改善微电容超声波换能器阵列水下探测性能提供了设计依据。
张睿张睿潘理虎陈立潮薛晨阳薛晨阳张文栋
关键词：阵列设计阵列封装水下探测
高输出稳定性的压阻式三轴加速度计
本发明公开了一种具有高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片、上玻璃盖板和下玻璃盖板，中心质量块通过八个矩形梁支撑在回形边框上。在梁上的每个压敏电阻四周都通过离子注入磷元素进行重掺杂，通过一个焊盘接入一个不低于惠...
张文栋宋金龙何常德薛晨阳
文献传递
基于薄板理论的密排结构CMUT发射声场研究
2023年
由微机电系统(MEMS)工艺制作的电容式微机械超声换能器(CMUT),其具有宽频带,易与电子电路集成制作等优势,在医学成像领域具有广阔的应用前景。为了研究一种密排结构CMUT超声换能器的发射声场特征,该文提出了一种简单的物理域相互作用分析方法。基于薄板的振动理论,由CMUT单元的声学辐射原理及特性计算得到CMUT阵元辐射声场的解析解。通过振膜振动分布实验验证了采用薄板振动理论一阶振型方程的正确性。通过仿真和实验研究了CMUT发射单元在不同排布方式和条件下的声场分布、声轴声压和指向性,为CMUT的设计和性能分析提供了理论依据。
沈姝君何常德张彦军高鹏飞张国军杨玉华王任鑫张文栋
关键词：声场指向性声发射特性
基于硅波导管共晶键合技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法
本发明为一种基于硅波导管共晶键合技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器由SOI片和氧化片通过共晶键合技术制备而成，包括沉积在SOI片器件层的金属上电极、氧化片的氧化层图形化空腔结构后沉积...
王任鑫张文栋王智豪秦芸张国军何常德王红亮杨玉华张赛崔建功
文献传递
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