佘鹏程
- 作品数：6 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信冶金工程更多>>
- 一种大型网带式玻璃退火炉传送系统设计被引量：1
- 2012年
- 介绍了一种大型网带式玻璃退火炉传送系统,论述了其设计方案和工作原理,着重阐述了双离合变速机构的设计以及相关计算等。
- 邓斌佘鹏程郭立万喜新
- 关键词：网带传送系统
- 矩形磁控溅射靶电磁场分析及优化被引量：1
- 2017年
- 对矩形溅射靶电磁场进行了仿真分析,优化设计,从而优化溅射靶表面电磁场分布,增大均匀沉膜区域范围,提高靶材利用率。
- 佘鹏程陈立宁程文进龚俊陈长平
- 关键词：磁控溅射电磁场
- 扫描式磁控溅射设备及工艺研究被引量：2
- 2017年
- 介绍了一种扫描式双腔连续生产型磁控溅射镀膜设备,通过研究不同溅射压强、溅射功率密度下金属薄膜的沉积速率以及沉膜均匀性,实验结果表明在溅射压强0.3 Pa、溅射功率密度9 W/cm^2的条件下沉积TiW薄膜的沉膜速率约41.5 nm/min,均匀性低于4%;沉积Cu薄膜的沉膜速率约95.2 nm/min,均匀性低于3%,符合电子器件镀膜工艺需求。
- 范江华胡凡彭立波程文进佘鹏程毛朝斌
- 关键词：磁控溅射
- 多靶磁控溅射镀膜设备及其特性被引量：2
- 2016年
- 介绍了一种多靶磁控溅射镀膜设备,阐述了镀膜室、工件台、阴极溅射靶、辅助离子源、真空系统等关键部件的设计思想。镀膜工艺结果显示,设备满足工艺要求,膜层均匀性优于±3%。
- 佘鹏程陈庆广胡凡陈特超彭立波张赛毛朝斌
- 关键词：磁控溅射离子源
- 大型网带式触摸屏玻璃退火炉的研制
- 2013年
- 介绍了一种大型网带式触摸屏玻璃退火炉的具体设计,对炉体功率分布、稳定均匀性保温设计做了详细的说明,通过温度测试,设备达到设计要求,保温区温度均匀性达到±2℃,温度稳定性为±1℃。
- 佘鹏程邓斌万喜新郭立
- 关键词：网带传送系统
- 新型晶硅电池快速烧结炉的研制被引量：1
- 2012年
- 介绍了新型晶硅电池快速烧结炉的研制,提出了适应高阻工艺的快速烧结炉在炉体结构特点、温度控制方式、快速降温冷却等几个方面的改进设计,来提高晶硅电池的转换效率,降低生产成本。根据此设计生产的新型晶硅电池快速烧结炉,应用于产业化晶硅电池的高阻工艺流程中,满足工艺要求,取得了较好的经济效益。
- 邓斌郭立万喜新佘鹏程
