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刘岩
作品数:
2
被引量:14
H指数:1
供职机构:
黑龙江广播电视大学
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
金鹏
哈尔滨工业大学电气工程及自动化...
谭久彬
哈尔滨工业大学电气工程及自动化...
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黑龙江广播电...
作者
2篇
谭久彬
2篇
刘岩
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金鹏
传媒
1篇
传感器技术
1篇
微细加工技术
年份
2篇
2001
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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PDMS微小流路微加工技术的研究
被引量:13
2001年
PDMS(Polydimethylsiloxane ,聚二甲基硅氧烷 )微小流路的微加工技术 ,由于具有加工周期短 ,加工成本低 ,可进行批量生产 ,易获得高深宽比的微小结构等特点 ,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点。对PDMS微小流路的特性进行了分析 ,实验结果表明 ,该方法完全适用于 μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工。
金鹏
谭久彬
刘岩
关键词:
集成电路
微加工技术
聚二甲基硅氧烷
微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术
被引量:1
2001年
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3 N4 薄膜沉积技术及Si3 N4 薄膜基于剥离 (lift-off)技术的微加工技术。
金鹏
谭久彬
刘岩
关键词:
微型传感器
氮化硅薄膜
微加工技术
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