刘莉莹
- 作品数：43 被引量：24H指数：3
- 供职机构：沈阳工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省大学生创新创业训练计划项目辽宁省教育厅高等学校科学研究项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信动力工程及工程热物理电气工程更多>>
- ECR-PEMOCVD系统对InN/ZnO/自支撑金刚石膜结构的制备方法
- 本发明属于新型光电材料沉积制备技术领域，提供一种可低温制备电学性能良好、散热性能良好的 InN 光电薄膜的 ECR-PEMOCVD 系统对 InN /ZnO/ 自支撑金刚石膜结构的制备方法。本发明包括以下步骤： 1 ）将...
- 赵琰张铁岩王存旭王晓文张宏丽许鉴李昱材王健王宝石衣云龙郭瑞王帅杰关新刘莉莹高微
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- 一种水暖床垫加湿加热器
- 本实用新型属于取暖装置领域，尤其涉及一种水暖床垫加湿加热器，该加湿加热器包括加热容器、储热容器以及蒸汽容器，所述加热容器内置有加热电阻，加热容器的底端设置出水口与储热容器的进水口连接，加热容器的顶端设置蒸汽出口与蒸汽容器...
- 王存旭张东赵琰宋世巍王健王刚李昱材刘莉莹丁艳波王晗王盛强
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- 大气压射频Ar/H_2/SiCl_4等离子体射流实验诊断及其沉积硅薄膜研究
- 大气压冷等离子体射流技术是近年来新兴的一种等离子体技术,其宏观低温特性及其中含有的大量活性物种使其在材料加工、生物改性、杀菌消毒等领域有广泛的应用前景。其操作简便并可在开放环境下工作的特点也使其备受青睐。本文设计了一种大...
- 刘莉莹
- 关键词：等离子体诊断发射光谱XPS
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- 一种Si衬底异质结构器件及其制备方法
- 本发明属于本发明可逆半导体到金属(SMT)一级转变涂层的制造技术领域，特别涉及一种Si衬底异质结构器件及其制备方法，在Si衬底上依次沉积AZO透明导电电极、掺硼金刚石薄膜、AZO透明导电电极、VO<Sub>2</Sub>...
- 张东赵琰李昱材王健宋世巍王刚丁艳波王晗刘莉莹
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- 一种移动式太阳能电视柜
- 本实用新型属于光伏应用领域，尤其涉及一种移动式太阳能电视柜。包括柜体，在横向上将柜体依次分割为放置光伏板的第一空间、放置蓄电池的第二空间以及插入薄体电视的第三空间，所述第一空间内设置可抽拉式的基座，所述基座可从柜体的侧面...
- 张东关焕新鞠振河郑洪赵琰李昱材宋世巍王健杜士鹏殷孝雎丁艳波王晗王刚刘莉莹司红代许鉴邓玮王宝石赵丹谢芳柯昀洁
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- 大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断被引量：3
- 2010年
- 本文采用发射光谱法诊断了大气压下Ar气、SiCl4及H2气混合气体(Ar/SiCl4/H2)射频放电等离子体射流特性.利用Si原子谱线强度计算了电子激发温度并以此估算了Si原子数密度,研究了射频功率及气体流量对电子激发温度和Si原子数密度以及SiCl4解离率的作用.
- 刘莉莹张家良郭卿超王德真
- 关键词：发射光谱电子激发温度
- 一种聚苯二甲酸乙二酯衬底异质结构器件及其制备方法
- 一种聚对苯二甲酸乙二酯衬底异质结构及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。所述异质结构是在苯二甲酸乙二酯衬底层上依次制备第一AZO透明导电薄膜、SnO<Sub>2</Sub>材料层、VO<Sub>2</Sub>材料层、第二A...
- 李昱材张东赵琰王健宋世巍王刚丁艳波王晗刘莉莹
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- 一种聚苯二甲酸乙二酯衬底异质结构器件及其制备方法
- 一种聚对苯二甲酸乙二酯衬底异质结构及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。所述异质结构是在苯二甲酸乙二酯衬底层上依次制备第一AZO透明导电薄膜、SnO<Sub>2</Sub>材料层、VO<Sub>2</Sub>材料层、第二A...
- 李昱材张东赵琰王健宋世巍王刚丁艳波王晗刘莉莹
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- 可调带隙量子阱的柔性太阳能电池研究
- 2016年
- 采用新型材料作为本征层很大层度上解决了薄膜材料光衰减的问题,有效保证了薄膜太阳能电池的发电效率。采用可调带隙以及具有量子阱结构InxGa1-xN晶体薄膜作为Ⅰ层,可以有效提高薄膜太阳能电池转换效率,再采用GZO透明薄膜既作为缓冲层又作为透明导电电极,增加了薄膜太阳能电池的透光率,同时提高了透明电极的耐腐蚀性能,使得薄膜太阳能电池的光电转换效率得到了很大的提高。采用AlN作为绝缘层,其晶格失配率相差很小,可以制备出质量均匀的Al背电极。该柔性电池具有优异的柔软性,重量轻,携带方便,具有潜在的市场空间,而且制备工艺简单,可实现规模生产。
- 张东王存旭王晓文王健赵琰宋世巍李昱材王刚杜世鹏司红代许鉴王宝石丁艳波王晗郭瑞刘莉莹王帅杰高微柯韵杰谢芳
- 关键词：薄膜太阳能电池
- 射频磁控溅射沉积系统制备BCN薄膜的研究（英文）
- 2015年
- 在自然界中,金刚石是最硬的一种材料,但把金刚石高温暴露在空气中时变得容易被氧化,所以在该条件下它不能用来做成切割工具。立方氮化硼有许多优异的特性,但它的内应力比较大,很大程度上影响了它在工业生产上的发展。人们期望能够合成出一种新的三元化合物硼碳氮材料,并且希望这种化合物既具有金刚石和c-BN的优点而且还能克服2种物质原有的缺点。采用射频磁控溅射方法,以石墨靶材和甲烷气体作为碳源,通过调控石墨靶功率在硅基片上沉积非晶B-C-N薄膜。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR),原子力显微镜(AFM),X射线衍射(XRD),台阶仪等表征手段,分别对B-C-N薄膜的表面形貌粗糙度、成键、沉积速率进行分析。
- 王健张东王晓文赵琰李昱材王刚王宝石郭瑞宋世巍丁艳波刘莉莹王晗
- 关键词：磁控溅射基片靶材
