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周贵庭
作品数:
5
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供职机构:
西安交通大学
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
景蔚萱
西安交通大学
蒋庄德
西安交通大学
樊哲
西安交通大学
赵凤霞
西安交通大学
牛玲玲
西安交通大学
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2篇
磁控溅射
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氮化
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氮化硅
1篇
阵列
1篇
微纳加工
1篇
叉指电极
机构
5篇
西安交通大学
作者
5篇
周贵庭
4篇
蒋庄德
4篇
景蔚萱
2篇
朱明智
2篇
杜明贤
2篇
王琛英
2篇
牛玲玲
2篇
赵凤霞
2篇
樊哲
年份
1篇
2013
2篇
2012
1篇
2011
1篇
2010
共
5
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一种超微锥电极阵列及其制备方法
一种超微锥电极阵列及其制备方法。首先对硅片进行干湿氧化形成SiO<Sub>2</Sub>膜,并采用正胶在上述SiO<Sub>2</Sub>膜光上刻出方形窗口;其次用TMAH溶液对上述SiO<Sub>2</Sub>膜方形窗...
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
周贵庭
杜明贤
王琛英
赵凤霞
一种超微锥电极阵列及其制备方法
一种超微锥电极阵列及其制备方法。首先对硅片进行干湿氧化形成SiO<Sub>2</Sub>膜,并采用正胶在上述SiO<Sub>2</Sub>膜光上刻出方形窗口;其次用TMAH溶液对上述SiO<Sub>2</Sub>膜方形窗...
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
周贵庭
杜明贤
王琛英
赵凤霞
文献传递
超微叉指电极阵列制备与表征方法的研究
周贵庭
关键词:
微纳加工
氮化硅
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法,首先制作铜制夹板、正面挡板、侧面挡板和底座,然后将正面挡板、铜制夹板和底座固定在一起;将钨丝分别穿过正面挡板,并将钨丝两端放置在铜制夹板的凹槽内,用热熔胶将其粘接固定在铜制夹板背面...
景蔚萱
周贵庭
蒋庄德
樊哲
牛玲玲
文献传递
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法,首先制作铜制夹板、正面挡板、侧面挡板和底座,然后将正面挡板、铜制夹板和底座固定在一起;将钨丝分别穿过正面挡板,并将钨丝两端放置在铜制夹板的凹槽内,用热熔胶将其粘接固定在铜制夹板背面...
景蔚萱
周贵庭
蒋庄德
樊哲
牛玲玲
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