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周贵庭

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇超微
  • 2篇电极
  • 2篇湿法刻蚀
  • 2篇热熔
  • 2篇热熔胶
  • 2篇热氧化
  • 2篇钨电极
  • 2篇钨丝
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇溅射
  • 2篇浇注
  • 2篇高深宽比
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇阵列
  • 1篇微纳加工
  • 1篇叉指电极

机构

  • 5篇西安交通大学

作者

  • 5篇周贵庭
  • 4篇蒋庄德
  • 4篇景蔚萱
  • 2篇朱明智
  • 2篇杜明贤
  • 2篇王琛英
  • 2篇牛玲玲
  • 2篇赵凤霞
  • 2篇樊哲

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种超微锥电极阵列及其制备方法
一种超微锥电极阵列及其制备方法。首先对硅片进行干湿氧化形成SiO<Sub>2</Sub>膜，并采用正胶在上述SiO<Sub>2</Sub>膜光上刻出方形窗口；其次用TMAH溶液对上述SiO<Sub>2</Sub>膜方形窗...
景蔚萱蒋庄德朱明智周贵庭杜明贤王琛英赵凤霞
一种超微锥电极阵列及其制备方法
一种超微锥电极阵列及其制备方法。首先对硅片进行干湿氧化形成SiO<Sub>2</Sub>膜，并采用正胶在上述SiO<Sub>2</Sub>膜光上刻出方形窗口；其次用TMAH溶液对上述SiO<Sub>2</Sub>膜方形窗...
景蔚萱蒋庄德朱明智周贵庭杜明贤王琛英赵凤霞
文献传递
超微叉指电极阵列制备与表征方法的研究
周贵庭
关键词：微纳加工氮化硅
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法，首先制作铜制夹板、正面挡板、侧面挡板和底座，然后将正面挡板、铜制夹板和底座固定在一起；将钨丝分别穿过正面挡板，并将钨丝两端放置在铜制夹板的凹槽内，用热熔胶将其粘接固定在铜制夹板背面...
景蔚萱周贵庭蒋庄德樊哲牛玲玲
文献传递
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法
一种高深宽比超微钨电极阵列及其制备方法，首先制作铜制夹板、正面挡板、侧面挡板和底座，然后将正面挡板、铜制夹板和底座固定在一起；将钨丝分别穿过正面挡板，并将钨丝两端放置在铜制夹板的凹槽内，用热熔胶将其粘接固定在铜制夹板背面...
景蔚萱周贵庭蒋庄德樊哲牛玲玲
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