周闵新
- 作品数：11 被引量：19H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划教育部跨世纪优秀人才培养计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- CMOS工艺兼容电容式绝对压力传感器的设计
- 传感器作为电子电路与外面环境的接口部分,具有重要的作用.压力传感器是一种重要的传感器,在工业控制领域以及大气探测领域有着重要的应用.用硅技术加工制作压力传感器是利用微电子技术的优势,代表着传感器加工制作的新的发展方向.C...
- 周闵新
- 关键词：CMOS片上系统有限元接口电路
- 文献传递
- 多层膜电容式压力传感器
- 本发明是一种用于传递压力信号的多层膜电容式压力传感器，由电容极板及连接电极板的引线组成，电容极板为电极膜，电极膜之间由电容介质膜填充，电容极板及引线设在衬底上，在电容极板的下方设有空腔。本发明改变了其电容的极板结构，采用...
- 周闵新黄庆安秦明
- 文献传递
- 多层膜结构电容式压力传感器及其CMOS兼容工艺的研究
- 硅微机械加工压力传感器是MEMS的重要研究领域之一，在汽车系统、工业控制、环境监控和测量以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式压力传感器是硅微压力传感器的一种主要类型，其基本原理是将压力变化转换为电容的变化。与...
- 周闵新
- 关键词：压力传感器CMOS集成电致伸缩多层膜结构硅微机械
- 文献传递
- 电容式绝对压力传感器的改进模型及温度特性分析被引量：4
- 2005年
- 在传感器敏感膜模型的基础上对电容式绝对压力传感器提出了一种改进模型,考虑了由于温度的变化电容结构空腔中残余气体对传感器性能产生的影响.结果表明温度的改变会导致残余气体压力的改变,进而使传感器的测量产生一定的温度漂移,同时也降低了传感器的灵敏度;并由此计算了残余气体存在时,传感器测量值的温度漂移量以及灵敏度的温度系数.这对于工艺的改进以及后续电路的设计具有指导意义.
- 刘娜黄庆安秦明周闵新
- 关键词：残余气体温度漂移灵敏度
- CMOS工艺兼容多晶硅压力敏感膜的设计与加工被引量：1
- 2003年
- 在MEMS表面加工工艺中 ,多晶硅薄膜是微结构的重要组成部分。本文考虑加工工艺中残余应力的影响和多晶硅材料的强度范围 ,建立多晶硅膜的大变形模型 ,设计可用于压力传感器应用的多晶硅薄膜几何尺寸。采用有限元方法对多晶硅薄膜进行力学分析和设计验证 ,提出了CMOS工艺兼容的多晶硅压力敏感膜的加工方法 ,并且根据所设计的工艺进行了电容式压力传感器微结构的加工 。
- 周闵新秦明黄庆安
- 关键词：CMOS
- CMOS集成电容绝对压力传感器被引量：2
- 2001年
- CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器 ,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产。介绍了传感器的原理、结构及处理电路 ,并对微系统集成的概念及生产工艺进行了讨论 ,对传感器的应用前景及领域进行了展望与预测。
- 周闵新秦明黄庆安
- 关键词：微电子机械系统CMOS
- 固体电容式结构微型传声器
- 固体电容式结构微型传声器是一种用于传递声音信号的器件，该传声器由衬底(2)、上电容极板(21)、下电容极板(22)、电容介质膜(23)及其引线(221)组成，在衬底(2)上设有下电容极板(22)，在衬底(2)中间和下电容...
- 黄庆安周闵新秦明
- 文献传递
- 固体电容式结构微型传声器
- 固体电容式结构微型传声器是一种用于传递声音信号的器件，该传声器由衬底(2)、上电容极板(21)、下电容极板(22)、电容介质膜(23)及其引线(221)组成，在衬底(2)上设有下电容极板(22)，在衬底(2)中间和下电容...
- 黄庆安周闵新秦明
- 文献传递
- 多层膜电容式压力传感器
- 本发明是一种用于传递压力信号的多层膜电容式压力传感器，由电容极板及连接电极板的引线组成，电容极板为电极膜，电极膜之间由电容介质膜填充，电容极板及引线设在衬底上，在电容极板的下方设有空腔。本发明改变了其电容的极板结构，采用...
- 周闵新黄庆安秦明
- 文献传递
- CMOS工艺兼容多晶硅压力敏感膜的设计与加工
- 在MEMS表面加工工艺中,多晶硅薄膜是微结构的重要组成部分.本文考虑加工工艺中残余应力的影响和多晶硅材料的强度范围,建立多晶硅膜的大变形模型,设计可用于压力传感器应用的多晶硅薄膜几何尺寸.采用有限元方法对多晶硅薄膜进行力...
- 周闵新秦明黄庆安
- 关键词：压力传感器有限元微系统多晶硅
- 文献传递
