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姚国亮
作品数:
16
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供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗小蓉
电子科技大学
王元刚
电子科技大学
雷天飞
电子科技大学
张波
电子科技大学
葛瑞
电子科技大学
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电子电信
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作者
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姚国亮
16篇
罗小蓉
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2015
1篇
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2篇
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5篇
2012
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2011
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槽型半导体功率器件
本发明涉及一种半导体器件,该器件包括半导体衬底,所述半导体衬底上是半导体漂移区,所述半导体漂移区包括第一导电类型的半导体区和第二导电类型的半导体区,所述第一导电类型的半导体区和所述第二导电类型的半导体区形成超结结构。所述...
罗小蓉
姚国亮
雷天飞
王元刚
张波
一种具有高K介质槽的半导体功率器件
一种具有高K介质槽的半导体功率器件,属于功率半导体器件技术领域。器件包括半导体衬底、半导体衬底上的半导体漂移区、半导体漂移区上的有源区和槽栅结构;所述半导体漂移区包括导电类型相同的第一、第二半导体区,所述第二半导体区的掺...
罗小蓉
姚国亮
王元刚
雷天飞
陈曦
葛瑞
张波
李肇基
超结结构和超结半导体器件的制造方法
本发明公开了一种超结结构和超结半导体器件的制造方法,通过刻蚀沟槽、小倾角离子注入、填充绝缘介质以及平坦化,之后形成有源层和电极等工艺关键步骤形成新型半导体超结及超结器件。相对于现有技术,本发明具有以下优点:第一,避免采用...
罗小蓉
姚国亮
王元刚
雷天飞
葛瑞
陈曦
一种双栅功率MOSFET器件
一种双栅功率MOSFET器件,属于半导体功率器件技术领域。本发明在普通双栅LDMOS器件的基础上,通过将与漏极金属相连的漏极接触区向有源层下方延伸,形成纵向漏极接触区(12a),并在有源层和衬底之间引入一层与纵向漏极接触...
罗小蓉
周坤
姚国亮
蒋永恒
王沛
王琦
罗尹春
蔡金勇
范叶
范远航
王骁玮
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具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法
本发明公开了一种新型具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法,通过多次外延多次注入、刻蚀延伸沟槽、填充绝缘介质以及平坦化,之后形成有源层和电极等关键工艺步骤,实现了一种新型超结结构和超结半导体器件的工艺制造。相对于现有技术...
罗小蓉
王元刚
姚国亮
雷天飞
葛瑞
陈曦
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槽型半导体功率器件
本发明涉及一种半导体器件,该器件包括半导体衬底,所述半导体衬底上是半导体漂移区,所述半导体漂移区包括第一导电类型的半导体区和第二导电类型的半导体区,所述第一导电类型的半导体区和所述第二导电类型的半导体区形成超结结构。所述...
罗小蓉
姚国亮
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王元刚
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一种具有高K介质槽的半导体功率器件
一种具有高K介质槽的半导体功率器件,属于功率半导体器件技术领域。器件包括半导体衬底、半导体衬底上的半导体漂移区、半导体漂移区上的有源区和槽栅结构;所述半导体漂移区包括导电类型相同的第一、第二半导体区,所述第二半导体区的掺...
罗小蓉
姚国亮
王元刚
雷天飞
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葛瑞
张波
李肇基
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SOI横向MOSFET器件和集成电路
本发明提供一种SOI横向MOSFET器件和集成电路,所述器件中,有源层(3)包括分别位于有源层(3)的表面并且相互分离的体区(9)和漏区(12)、以及位于体区(9)的表面并且从靠近漏区(12)的一侧起按顺序设置的平面栅沟...
罗小蓉
姚国亮
雷天飞
王元刚
张波
李肇基
一种槽型纵向半导体器件的制造方法
一种槽型纵向半导体器件的制造方法,属于半导体器件制造技术领域。本发明通过刻蚀深槽、高温扩散、填充绝缘介质以及平坦化,之后形成有源层和电极等关键工艺步骤,实现了一种一种槽型纵向半导体器件的工艺制造。相对于已有的工艺,本发明...
罗小蓉
王元刚
姚国亮
雷天飞
葛瑞
陈曦
张波
李肇基
文献传递
超结结构和超结半导体器件的制造方法
本发明公开了一种超结结构和超结半导体器件的制造方法,通过刻蚀沟槽、小倾角离子注入、填充绝缘介质以及平坦化,之后形成有源层和电极等工艺关键步骤形成新型半导体超结及超结器件。相对于现有技术,本发明具有以下优点:第一,避免采用...
罗小蓉
姚国亮
王元刚
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