庞江涛
- 作品数：12 被引量：52H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 微电子机械系统与集成微流量控制系统的研究
- 庞江涛
- 关键词：微电子机械系统微机械MEMS传感器
- 硅基MEMS微流量控制器件及其系统的研究
- 该论文对微机械加工工艺与IC工艺的兼容性问题进行了深入的研究,成功地开发出一套与IC工艺相兼容的微流量控制系统制作工艺流程,实现了集成微流量控制系统的设计、优化与制作,同时对几种典型的微流量控制器件进行了理论分析与计算,...
- 庞江涛
- 关键词：微电子机械系统微流量传感器
- 氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术被引量：2
- 1998年
- 本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面积的等厚方形单晶硅膜，满足微动力机械的要求。
- 战长青庞江涛刘理天钱佩信
- 关键词：各向异性腐蚀微压力传感器
- 悬臂梁式微型阀被引量：14
- 2000年
- 分析了悬臂梁微型阀的静态过流特性 ,得到了阀的静态压差 -流量曲线并与实验结果比较。采用悬臂梁的振动微分方程分析了悬臂梁式微型阀的动态过流特性。当阀片两侧的压差随时间变化时 ,阀片的启闭与压差的变化之间存在一定的相位差 ,有可能引起泄漏甚至反向流动。对阀片的几何尺寸对动态过流特性的影响进行了分析。
- 尹执中庞江涛胡桅林过增元
- 关键词：微型阀振动
- 集成微流量控制系统的研究
- 流量控制器件与微流量传感器以及相关的信号处理和控制电路相结合的微型化、集成化的微流量控制系统，已经成为MEMS研究的热点之一。
- 庞江涛刘理天李志坚
- 关键词：微流量传感器
- 热驱动薄膜式微型泵被引量：5
- 2000年
- 微型泵在化学分析、环境监测和药物传送等领域有广阔应用前景。为了解热驱动薄膜式微型泵的性能 ,对泵的主要部件进行了理论分析 ,然后对泵的整体性能进行了数值模拟。得到了微型泵的频率特性 ,流量 -压头曲线及流量随功率的变化。发现泵的流量在 3 .3 3 Hz左右达到最大 ,泵的零流量压头为 64 k Pa左右 ;由于预应力的作用 ,使输入功率低时泵的流量比没有预应力时显著减小 ,而当输入功率较大时 ,泵的流量随输入功率增大而迅速增大。实验测定了微型泵流量的频率特性和随功率的变化 。
- 尹执中庞江涛刘理天胡桅林过增元
- 关键词：微型机械传热
- 微流量泵微小流量控制特性的研究
- 庞江涛刘理天李志坚
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- 具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构被引量：12
- 1998年
- 根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。
- 庞江涛战长青刘理天
- 关键词：微流量传感器
- 硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究被引量：7
- 1999年
- 介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果。该系统为三片式结构，其中两片由体硅微机械加工技术形成，构成微止回阀门，另一片为集成铝硅双金属驱动结构。驱动结构的结构参数得到了优化设计，提高了工作效率。利用铝硅双金属驱动结构制作工艺的特点，在驱动结构上集成制作了微流量传感器和信号处理电路，实现了系统集成。该集成系统的制作工艺简单，所采用的微机械加工工艺与标准ＭＯＳ工艺完全兼容。集成微型泵的外形尺寸为６ｍｍ×６ｍｍ×１ｍｍ，最大输出背压力为１０ｋＰａ，最大流量可达到４４μＬ／ｍｉｎ。
- 庞江涛刘理天李志坚
- 关键词：微流量传感器微泵系统集成
- 铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化被引量：2
- 1998年
- 对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。
- 庞江涛战长青谭智敏钱欣刘理天李志坚
- 关键词：微电子机械系统微机械微执行器
