您的位置： 专家智库 > >

张云鹏

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇伺服
  • 2篇伺服系统
  • 2篇光刻
  • 2篇PID算法
  • 1篇电控
  • 1篇电控系统
  • 1篇轴控制器
  • 1篇微分
  • 1篇可编程多轴控...
  • 1篇控制器
  • 1篇光刻机
  • 1篇多轴控制
  • 1篇多轴控制器
  • 1篇非接触
  • 1篇非平面
  • 1篇PID
  • 1篇PMAC
  • 1篇LED
  • 1篇LED光源
  • 1篇测量系统

机构

  • 5篇中国电子科技...

作者

  • 5篇张云鹏
  • 2篇贾亚飞
  • 2篇蒲继祖
  • 2篇宋波
  • 1篇谢秀镯
  • 1篇李霖
  • 1篇韦薇
  • 1篇杨建章

传媒

  • 5篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
程控式LED光源控制器的设计被引量：1
2014年
大多数机器视觉系统都采用高亮度LED作为光源,光源厂家配售的光源控制器往往价格较高。为降低成本,提出一种可由上位机程序控制的LED光源控制器的设计方法,包括控制器的硬件设计和程序设计,并给出一个设计实例。依照此方法设计的控制器已在设备上运行半年之久,运行可靠稳定,能够很好地控制LED的亮度,且没有明显的照度衰减,证明此方案切实可行。
韦薇宋波张云鹏
关键词：LED程序控制
光刻机双面对准精度测量系统被引量：1
2015年
双面对准精度是接触接近式光刻机的关键性能指标,介绍了一种检测此项指标的测量原理及应用该原理研制的双面对准精度测量系统,并对设备的部件构成及控制流程作了叙述。设备实际验证了检测原理,对50、75、100及150 mm圆形基片均可适用。
李霖贾亚飞张云鹏杨建章
关键词：光刻机
非平面直写式光刻电控系统的研究
2015年
阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成,通过高效的控制方法,提高控制精度,实现工艺要求。
张云鹏谢秀镯宋波蒲继祖
关键词：PID算法伺服系统
非接触间隙检测
2014年
基于光的分振幅干涉原理,用激光做光源,自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置,通过实际运用,达到理想效果。
贾亚飞蒲继祖张云鹏
关键词：非接触
基于PMAC的步进电机伺服系统的PID算法研究被引量：1
2013年
阐述一种基于PMAC(Programmable Multi-Axis Controller)控制卡的步进电机构成的伺服系统PID(Proportion Integral Derivative)算法。详细的介绍了系统的组成和工作原理,以及PID参数的调节原理和调节方法。我们借助PEW IN TUNING软件,通过分析系统响应曲线,观察系统的稳态特性和动态特性。
张云鹏
关键词：可编程多轴控制器PID算法伺服系统
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0