张五金
- 作品数：5 被引量：11H指数：2
- 供职机构：大连理工大学机械工程学院微系统研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 微热板式微气压传感器电热力耦合分析及测试
- 随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展，微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气压传感器由于具有体积小、功耗低、量程宽、热响应快等优点，已成为国内外MEMS领域的重要研究方向...
- 张五金
- 关键词：气压传感器结构优化气体动力学
- 微气压传感器测试系统的真空自动控制研究
- 针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考 MATLAB 的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊 PID 控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析...
- 金仁成陈涛张五金唐祯安
- 关键词：微气压传感器实时控制
- 参数自调整模糊控制器在微气压传感器测控系统中的应用研究被引量：6
- 2008年
- 为了对真空测控系统进行动态气压控制,提出了一种参数自调整模糊控制器的设计方法。该方法利用参数调整控制器在线自动修正基本模糊控制器的量化因子和比例因子,从而改善基本模糊控制器对任意设定气压的控制性能。此外,在控制算法基础上引入计数器Counter来消除系统的频繁振荡。实验结果表明,该方案具有较好的控制效果,基本上解决了传感器所需真空测试环境1kPa～100kPa的动态气压控制问题。
- 金仁成张五金唐祯安
- 关键词：模糊控制参数自调整比例因子
- 微气压传感器测试系统的真空自动控制研究被引量：2
- 2007年
- 针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试，建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果，分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器，对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究，探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示，调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好，可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置，能够解决传感器所需气压测试环境10-1000Pa的实时气压控制问题。
- 金仁成陈涛张五金唐祯安
- 关键词：微气压传感器实时控制模糊PID控制
- SnO_2(110)表面电子结构的第一性原理被引量：3
- 2008年
- 应用第一性原理DFT(密度泛函理论)研究了具有(1×1)和(2×1)对称性的SnO2(110)氧化表面、还原表面和缺陷表面的几何结构与电子结构,重点分析了表面氧空穴(O vacancy)对表面电子结构的影响以及对气体分子吸附的影响。研究结果表明,由于表面空穴的存在,SnO2(110)表面能隙中都出现了明显的表面态,由于表面氧的流失而留下来的电荷是产生这些表面态的主要原因,这些电荷主要集中在Sn上和附近的空穴中,与这些电荷相关的轨道是氧化物表面吸附研究的关键。
- 金仁成翁雪军王立鼎张五金
- 关键词：SNO2电子结构能隙
