张怀
- 作品数:11 被引量:50H指数:5
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程经济管理更多>>
- CAPP系统输出技术的研究被引量:8
- 2003年
- CAPP系统的输出通常有工艺规程文件和工艺数据汇总报表两种形式,通过系统输出可及时准确地指导生产和为企业管理者提供必要的数据。输出技术的好坏直接反映了CAPP系统开发质量的优劣,因此对输出技术的研究就显得尤为重要。本文结合实际,系统地研究了两种输出形式的实现方法。
- 张怀朱华炳刘志峰刘光复
- 关键词:CAPP
- 半导体芯片制造的大规模系统调度技术
- 江志斌李娜雷海波李衍飞赵奇周炳海陈峰张志英梁峰张怀郭乘涛耿娜胡鸿韬
- 半导体芯片制造产业对国民经济建设具有重要影响。但是,由于规模庞大、设备昂贵、工艺复杂、多重入制程、长周期、多产品混合生产等特点,半导体芯片制造系统被认为是最复杂的制造系统,其生产调度十分困难,是制约中国半导体芯片制造企业...
- 关键词:
- 关键词:半导体芯片
- 基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台被引量:7
- 2006年
- 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用.
- 张怀江志斌郭乘涛刘惠然
- 关键词:半导体晶圆制造系统仿真实时调度
- 基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究被引量:1
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。
- 李衍飞江志斌张怀
- 关键词:生产计划与调度模糊控制
- 基于PDM的CAPP系统接口技术被引量:3
- 2004年
- 基于 PDM的 CAPP系统的接口技术直接体现了系统运行效率。本文采用共享数据库的方式与Auto CAD、Excel进行数据交换 ,结合实际开发了应用系统 ,研究了信息提取、工艺卡片输出和实现报表自动生成的共性关键技术。
- 朱华炳张怀唐自玉刘志峰刘光复
- 关键词:计算机辅助工艺设计数据交换接口技术产品数据管理
- 企业信息系统集成关键技术和方法研究
- 随着企业信息化进程的深入,企业信息系统的建设成为企业的首要任务.由于集约化管理需求的日趋强烈,集成化已经成为企业信息系统化建设的根本目标之一,因此对信息系统集成的理论、方法和技术的研究已势在必行.该文在阐述了企业信息系统...
- 张怀
- 关键词:网络集成数据集成公共数据库
- 文献传递
- 基于问题分解的蚁群算法在半导体晶圆制造调度中的应用被引量:9
- 2009年
- 为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间设置重叠操作以保证调度的一致性.为调度各子问题,提出一种分类蚁群算法以处理不同类型的机器.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行,结果表明,该方法对调度结果有显著的提升.
- 郭乘涛江志斌张怀
- 关键词:半导体晶圆制造系统调度蚁群算法
- 半导体生产线动态在制品水平控制方法被引量:8
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造中设备众多,生产周期长和多次重入等特点,提出一种在制品水平分解控制方法。首先,通过仿真实验,依据系统关键指标受设备性能变化影响的灵敏度大小,确定设备的约束权重;然后,依据设备约束权重,结合产品的加工参数,确定每种产品各加工阶段合理的在制品水平分布;最后,设备依据实际在制品水平和目标在制品水平的差别和上下游信息,动态地选择工件加工。通过仿真实验,验证了算法的可行性和有效性。
- 胡鸿韬江志斌张怀
- 关键词:半导体晶圆制造系统调度
- 基于序优化和响应曲面法的半导体晶圆制造系统两阶段多目标优化调度方法
- 当今,竞争激烈的半导体市场非常注重对客户需求的响应。缩短加工周期及提高按时交货率对于提升客户满意度而言尤为重要。为了达到上述目标,需要通过有效的调度技术以加强生产管理,提高系统绩效。由于半导体晶圆制造系统(Semicon...
- 张怀
- 关键词:调度方法半导体晶圆制造系统响应曲面法
- 面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略及参数优化被引量:11
- 2007年
- 针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、方差和制品数量等4个指标上均有所改善.
- 张怀江志斌郭乘涛
- 关键词:响应曲面法半导体晶圆制造系统