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张海波

作品数：51 被引量：68H指数：6
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 41篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 16篇电子电信
  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 34篇激光
  • 22篇激光器
  • 14篇光纤
  • 14篇光栅
  • 14篇分子激光器
  • 14篇波长
  • 11篇线宽
  • 10篇准分子
  • 10篇准分子激光
  • 10篇准分子激光器
  • 10篇分子
  • 9篇光谱
  • 8篇调谐
  • 6篇窄线宽
  • 6篇棱镜
  • 6篇光学
  • 5篇中心波长
  • 5篇波长计
  • 5篇大尺寸
  • 4篇石英

机构

  • 51篇中国科学院上...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院光...

作者

  • 51篇张海波
  • 46篇周军
  • 43篇袁志军
  • 32篇魏运荣
  • 24篇楼祺洪
  • 14篇耿立明
  • 13篇姜丽媛
  • 12篇何兵
  • 8篇叶韧
  • 8篇漆云凤
  • 6篇董景星
  • 5篇杨依枫
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  • 3篇陈晓龙
  • 3篇刘恺
  • 2篇杜松涛
  • 2篇胡丽丽
  • 2篇于春雷
  • 2篇赵宏明
  • 1篇任进军

传媒

  • 4篇中国激光
  • 2篇科学
  • 1篇硅酸盐学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇2010年中...

年份

  • 4篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 3篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 18篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 2篇2009
共 51 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置
一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置，由光束整形器、棱镜扩束器和衍射光栅组成。通过在光路中置入棱镜将矩形光束的长轴分为若干方向的子光束，通过高反镜将变向的子光束与原光束的短轴重叠，从而实现光束长宽比的变化，进而减小...
周军张海波赵宏明楼祺洪魏运荣董景星
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精密波长调谐装置
一种精密波长调谐装置，由扩束器、光栅装调架、闪耀光栅、旋转平台、连杆、直线伺服控制平台、第一圆柱销和第二圆柱销组成，本实用新型具有结构简化、波长调谐精度高、可应用于激光器的波长调谐和波长稳定控制的特点。
耿立明张海波袁志军周军魏运荣姜丽媛
文献传递
精密波长调谐装置
一种精密波长调谐装置，由扩束器、光栅装调架、闪耀光栅、旋转平台、连杆、直线伺服控制平台、第一圆柱销和第二圆柱销组成，本发明具有结构简化、波长调谐精度高、可应用于激光器的波长调谐和波长稳定控制的特点。
耿立明张海波袁志军周军侯霞姜丽媛
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一种阵列光纤与大尺寸石英端帽的熔接装置与方法
一种实现阵列光纤与大尺寸石英端帽熔接的装置，包括二氧化碳激光器、分光镜、光束整形器、高反镜、图像探测模块、阵列光纤及其载具、大尺寸石英端帽及其载具、步进电机、测温仪、计算机；二氧化碳激光器发出的激光束经分光镜分成两束光，...
张海波吴梦浩何兵雷雨周军漆云凤袁志军叶韧
准分子激光器干涉条纹的数据处理方法
一种准分子激光器干涉条纹的数据处理方法，该方法将准分子激光利用标准具、透镜等形成的干涉条纹成像到光电二极管阵列上，经数据采集模块送计算机采用总体平均经典模态分解方法进行数据处理。本发明引入噪声辅助信号进行处理，经过多次平...
姜丽媛张海波袁志军周军耿立明魏运荣
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棱镜扩束系统
一种棱镜扩束系统，其特点在于：该扩束系统由2个以上结构相同的直角棱镜构成，入射光束从所述的直角棱镜的斜面入射，称为入射斜面，出射光束垂直于同一直角棱镜的直角面，称为出射直角面，所有直角棱镜的顶角α相同且满足下列公式：<I...
袁志军张海波周军耿立明姜丽媛魏运荣
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棱镜扩束器装调仪及装调方法
一种棱镜扩束器装调仪及装调方法，棱镜扩束器装调仪由光源、载物台、精密转台、支柱、二维行程平台、第一直角曲杆、指示光源、第二直角曲杆、滤光片、光电探测器和电脑组成。采用本发明棱镜扩束器装调仪及装调方法，可精确地标定棱镜扩束...
张海波袁志军周军魏运荣姜丽媛耿立明
ArF准分子激光器线宽压缩技术被引量：15
2009年
ArF准分子激光器是实现45nm技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193nm的光谱线宽压缩技术。
张海波楼祺洪周军董景星魏运荣
关键词：激光器准分子激光器主振荡功率放大
高功率连续波单模全光纤激光器
周军楼祺洪何兵李进延漆云凤刘驰戴能利赵纯谢可迪魏运荣袁志军张海波
该项目属于激光技术领域。以波导光纤为工作物质的高功率光纤激光器是国际上正在发展的新一代高功率激光器，在先进制造、国防军事等领域具有重要应用价值，正如《Laser Focus World》在"2014年全球激光器市场回顾与...
关键词：
关键词：全光纤激光器连续波
窄线宽准分子激光器
一种窄线宽准分子激光器，由棱镜扩束系统、紫外光栅、紫外标准具、放电腔及输出耦合镜组成。准分子激光先经棱镜扩束系统和紫外光栅进行线宽压窄，输出的窄线宽激光经过谐振腔外垂直光路放置的紫外标准具，对其光谱进一步压窄。本实用新型...
袁志军张海波周军楼祺洪魏运荣
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