施玉书
- 作品数：162 被引量：164H指数：8
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 微纳米台阶高度评定方法的比较与分析被引量：4
- 2020年
- 台阶高度作为纳米计量领域中的一个具有代表性的参数,其评定方法层出不穷,本文对现有的台阶高度评定方法进行了介绍,并对其重复性以及一致性进行了分析。结果表明:点对点法和直方图算法受噪声等畸变影响较大,重复性较差;而对直方图算法进行改进,台阶高度由计算直方图中分别对应台阶高、低区域的峰值的横坐标之差转而计算重心的横坐标之差,重复性提高;ISO法、最小二乘多项式拟合法和光学显微解耦合准则重复性较好,计算结果更稳定。通过计算归一化偏差En值来判别6个评价方法的一致性,结果表明其测量结果等效一致。
- 余茜茜施玉书张树李伟皮磊卜祥鹏黄鹭李适李琪高思田
- 关键词：一致性
- 一种用于长度测量校准的标准器组
- 本发明公开了一种用于长度测量校准的标准器组，其包括底座、支撑棒和标准球，所述底板上设置有若干通孔，所述支撑棒的一端设置在所述通孔中，所述支撑棒的另一端设置有一球窝，所述标准球设置在所述球窝内，所述标准球与所述球窝底面之间...
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- 文献传递
- 一种振动测量系统
- 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上...
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- 文献传递
- 248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
- 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜...
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- 一种杠杆式表面轮廓测量传感器
- 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，...
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- 文献传递
- 精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法被引量：1
- 2008年
- 气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构。为了消除气体微振动对精密测量的影响，提出了气浮工作台区分两种工作模式：运动模式和测量模式。在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上，提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法，实现其运动模式和测量模式的平稳过渡。气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250nm，排气过程中的偏移不大于200nm，且经历时间在0．3s左右。该方法的提出提高了气浮工作台的性能，使之成为测量系统中优良的大范围位移系统。
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- 关键词：计量学气体轴承微振动瞬态
- 适用于TERS系统的金修饰钨丝探针制备和研究被引量：3
- 2020年
- 提出了一种适用于针尖增强拉曼光谱(TERS)系统的金修饰钨丝探针,研究了其制备方法。有限元仿真设计了针尖的形状为内弧形针尖,并进行二氧化硅粘结层和金颗粒外层双镀膜结构纳米修饰;通过调节实验室自主研制的电化学腐蚀探针装置的溶液浓度、电机位移和浸入深度制备符合形状要求的钨丝针尖;在此基础上,通过电感耦合等离子体化学气相沉积技术(ICP-CVD)进行二氧化硅涂层镀制,电子束加热物理气象沉积技术(EB-PVD)进行金涂层镀制。最终完成该探针制备,双层镀膜后针尖曲率半径达30~80 nm,可用于TERS研究。
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- 关键词：计量学
- 垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪
- 本实用新型公开了一种垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪，垂直式表面粗糙度测头包括固定架、移动架、位移测量模块、针杆、触针和导向装置，移动架竖向滑动连接于固定架上，移动架上设置针杆，移动架的底板上设有导向装置，导向装置能够...
- 张树施玉书皮磊史舟淼高思田李伟李琪李适黄鹭
- 文献传递
- 一种低应力类金刚石耐磨涂层及其制备方法
- 本发明属于耐磨涂层材料制备领域，具体涉及一种低应力类金刚石耐磨涂层及其制备方法。本发明提供的低应力类金刚石耐磨涂层，包括依次层叠的含金属过渡层、纳米金刚石过渡层和类金刚石涂层。本发明利用纳米金刚石过渡层与类金刚石涂层的近...
- 贾鑫黄鹭孙淼高思田施玉书
- 文献传递
- 颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质
- 本申请涉及一种颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质。基于多个角度与多个角度颗粒粒径、多个样品浓度与多个第一颗粒粒径，分别对多个角度颗粒粒径、多浓度条件下颗粒粒径采用多项式拟合的数学方法进行拟合，获得颗粒粒径随角度...
- 黄鹭高思田施玉书孙淼李伟李琪李适
