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朱小东

作品数：3 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学技术大学物理学院近代物理系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 3篇等离子体
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体源
  • 1篇等离子体诊断
  • 1篇电源
  • 1篇电子回旋共振
  • 1篇阴极
  • 1篇热阴极
  • 1篇微波
  • 1篇稳流
  • 1篇稳流电源
  • 1篇CVD
  • 1篇EACVD
  • 1篇波导
  • 1篇WAVEGU...

机构

  • 3篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 3篇詹如娟
  • 3篇朱小东
  • 2篇温晓辉
  • 1篇汪学毅
  • 1篇周海洋
  • 1篇武帅
  • 1篇姚东升
  • 1篇吴丛凤

传媒

  • 1篇核聚变与等离...
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇第九届全国等...

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1998
  • 1篇1997
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究
报道了所研制的的Waveguide-surfatron激发的表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10-1000P...
詹如娟吴丛凤朱小东黄卫东温小辉武帅周海洋
关键词：等离子体源
EACVD中热阴极直流放电特性的实验研究
1997年
本文针对ＥＡＣＶＤ过程中经常出现的放电振荡和不稳定现象，比较系统地研究了ＥＡＣＶＤ中热阴极直流放电特性及其与工艺参数之间的关系，分析和讨论了放电振荡和不稳定现象发生的原因，并给出了避免和控制的途径和措施。
姚东升詹如娟温晓辉朱小东
关键词：稳流电源等离子体CVD热阴极
ECR微波等离子体特性的实验研究被引量：6
1998年
着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置，以及在CH4－H2混合气体放电情况下，诊断了内部等离子体参数，给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金刚石膜合成条件下等离子体中的基团情况，同时研究了它们与工艺参数之间的关系。
詹如娟汪学毅温晓辉王存勇朱小东
关键词：电子回旋共振等离子体诊断微波波导
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共1页<1>
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