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李仕福
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
理学
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合作作者
刘津
中国电子科技集团公司第四十六研...
周传新
中国电子科技集团公司第四十六研...
王建利
中国电子科技集团公司第四十六研...
兰天平
中国电子科技集团公司第四十六研...
孙强
中国电子科技集团公司第四十六研...
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中国电子科技...
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牛沈军
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刘津
传媒
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人工晶体学报
年份
1篇
2007
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VB法生长低位错GaAs单晶
被引量:4
2007年
用于激光二极管(LD)和发光二极管(LED)的GaAs晶片,要求其具有低的位错密度(EPD)。为了获得低位错密度的GaAs晶片,必须先得到低位错密度的体单晶。我们采用垂直布里奇曼(VB)法分别得到了2英寸和3英寸的GaAs单晶,单晶长度可达10cm,平均位错密度5000cm-2。通过改变加热器结构,改善轴向和径向的温度梯度,优化了生长时的固液界面,得到的单晶长度达20cm,平均位错密度为500cm-2,最大位错密度小于5000cm-2。
王建利
孙强
牛沈军
兰天平
李仕福
周传新
刘津
关键词:
位错密度
GAAS晶体
温度梯度
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