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李艳丽

作品数：41 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 9篇自动化与计算...
  • 7篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇经济管理
  • 1篇医药卫生

主题

  • 24篇光刻
  • 13篇投影光刻
  • 10篇光刻机
  • 8篇图像
  • 8篇工件台
  • 7篇投影光刻机
  • 6篇叠栅条纹
  • 6篇条纹
  • 5篇调焦
  • 5篇掩模
  • 5篇无掩模
  • 5篇光学
  • 4篇电机
  • 4篇对准标记
  • 4篇圆孔
  • 4篇伺服
  • 4篇伺服控制
  • 4篇伺服控制系统
  • 4篇透光
  • 4篇图像处理

机构

  • 41篇中国科学院

作者

  • 41篇李艳丽
  • 25篇胡松
  • 22篇严伟
  • 18篇陈铭勇
  • 13篇王建
  • 12篇杨勇
  • 11篇冯金花
  • 8篇何渝
  • 4篇唐燕
  • 4篇赵立新
  • 3篇邢薇
  • 3篇马平
  • 2篇陈磊
  • 2篇高洪涛
  • 2篇徐文祥
  • 2篇邸成良
  • 1篇乔俊仙
  • 1篇周绍林
  • 1篇胡陶
  • 1篇罗正全

传媒

  • 2篇光学学报
  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 3篇2025
  • 4篇2024
  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 5篇2014
  • 5篇2013
  • 5篇2012
  • 10篇2011
  • 1篇2009
共 41 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种ROE性能检测方法
本发明提出一种ROE性能检测方法。首先建立测试光路，分别记录加与不加ROE折射镜情况下的紫外相机图像。通过图像质心算法和图像能量算法计算可得ROE折射镜各处的Y向平衡性。基于图像傅里叶算法以及相关参数拟合可得ROE折射镜...
李昱阳孙海峰李艳丽周吉杨瑞琳龚健文胡松
一种长焦深光子筛
本发明公开了一种长焦深光子筛，实现光子筛较长焦深的方法。该光子筛包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布原则为r<Sub>n</Sub><Sup...
严伟何渝李艳丽唐燕高洪涛胡松
文献传递
一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统
本发明是一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统，检焦标记和投影成像系统位于照明系统和多次反射棱镜之间，被检测面位于多次反射棱镜和反射镜之间，检焦标记放大系统位于反射镜和探测器件之间；投影成像系统与照明系统匹配为照明检焦标记...
陈铭勇胡松李艳丽
文献传递
一种高精度调焦调平测量系统
本发明提出了一种高精度调焦调平测量系统，该测量系统采用四通道检测的方式，通过测得基片上的四点高度，确定当前曝光场内垂直方向的离焦量和水平方向的倾斜度，从而实现基片的调焦调平。基片高度的检测是基于光强调制的双光路叠栅条纹检...
李艳丽严伟冯金花王建
文献传递
基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法被引量：6
2011年
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点,讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理,利用双光栅光闸叠栅条纹的光强调制机理,并结合像横向剪切器和光弹调制的光学特性,建立了单个光栅周期内焦面位移量和输出光能量线性关系。其具有非接触、强实时性和高稳健性的特点,经理论分析和模拟测试,达到纳米量级的检测精度,可以满足投影光刻高精度、实时、非接触焦面测量的要求。
严伟李艳丽陈铭勇王建
关键词：光学测量叠栅条纹
一种投影光刻调焦的图像处理方法
本发明提供一种投影光刻调焦的图像处理方法，所述的方法首先根据列向求和投影的波峰，初步求得中线位置，进行粗调焦。采用波峰识别方法和图像细分算法对目标线条进行精确定位。进而求得目标线条与指定最佳焦面位置的离焦量，控制工件台运...
李艳丽严伟陈铭勇杨勇王建
一种曲面光刻直写设备
本发明公开了一种曲面光刻直写设备，用于光刻设备，尤其适用于大口径凹面基底加工。本发明由曝光光源，聚焦镜头系统，检焦系统，运动控制台和整机框架组成。光束调控和检焦系统相互配合保证线条线宽的一致性。运动控制台实现对光刻轨迹的...
李艳丽李昱阳杨瑞琳罗靖澜
一种基于边缘检测的生物芯片样点识别方法
本发明提出了一种基于边缘检测的生物芯片样点识别方法，该方法首先通过边缘提取、边缘连接、区域填充确定出样点的真实区域，再运用扫描法划分网格，自动获得样点行、列数及总数。最后将确定出的每个网格内的样点区域位置与原图对应，自动...
胡松严伟李艳丽
一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛
本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式r<Sub>mn</Sub><Su...
严伟何渝李艳丽唐燕赵立新胡松
文献传递
一种用于接近接触式光刻机的智能套刻控制方法
本发明提出一种用于接近接触式光刻机的智能套刻控制方法，包括：使用机械臂在接近接触式光刻机中放置硅片；获取清晰的左右对准相机中的掩膜与硅片对准标记图像；采集左右对准相机中的掩膜与硅片对准标记图像，对掩膜与硅片对准标记图像进...
李昱阳李艳丽杨瑞琳孙海峰龚健文胡松
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