李金鹏
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计
- 2009年
- 给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采样(CDS)技术,较大地减少了电路和MEMS惯性器件的1/f噪声、热噪声,抑制了零漂。采用HHNEC 0.35μmCMOS工艺制造,面积为1 mm×2 mm,与MEMS器件封装在一起,并进行了实际测试,结果表明,该读出电路基本满足要求,并具有较低的噪声。
- 李金鹏焦继伟宓彬伟张颖王跃林
- 关键词：低噪声微电子机械系统相关双采样电荷转移惯性器件
- 一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计被引量：1
- 2007年
- 提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2·08kHz,品质因子Q为21·4,灵敏度为93·7mV/g.
- 王育才焦继伟段飞张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林
- 关键词：微加速度计微机械加工各向异性腐蚀
- 电容式微陀螺专用集成接口电路研究
- MEMS陀螺多采用电容式输出，因而起到将电容差量转换为电压量的接口电路就成为显得十分重要。传统采用PCB板分立器件搭建的转换电路往往难以达到较低的噪声和较高的精度。本文研究了几种电容一电压转移方法的电路，分析了他们的优缺...
- 李金鹏
- 关键词：MEMS
- 基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺被引量：3
- 2007年
- 设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s.
- 段飞焦继伟王育才张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林
- 关键词：微机械陀螺X轴
