杨岳锋
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中南大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 引线键合超声换能系统的设计与动力学研究
- 微电子封装已成为当今微电子制造中影响生产效率和器件性能的关键技术。热超声键合是最为重要的芯片封装方法与技术，目前企业生产的90％以上芯片是采用热超声键合方法进行封装。超声换能系统是热超声键合装备的核心执行机构，其工作性能...
- 杨岳锋
- 关键词：微电子封装超声引线键合换能系统等效电路
- 文献传递
- 热超声键合换能系统设计及性能分析
- 2008年
- 在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析。实验表明实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为12.7Ω,振动位移达到3.725μm,满足超声芯片封装的工艺要求。
- 杨岳锋段吉安隆志力齐斌
- 关键词：热超声键合有限元方法
- 夹持环对换能系统振动模态影响的有限元分析
- 2008年
- 换能系统是热超声引线键合装备的核心部分,夹持环对系统起安装支撑的作用,其安装方式直接影响换能系统的能量传递与振动模态。利用有限元法分析了夹持环对换能系统振动模态的影响,结果表明,对夹持环未施加约束、施加z向约束时换能系统的夹持环会出现振动现象,而施加x向约束时,工作频率下的主振型完全不符合要求;改变夹持环的安装位置,对换能系统的节点位置及谐振频率都有一定的影响,实验测得在全约束情况下,换能系统的节点位置为58 mm,与分析结果一致;换能系统在工作频率附近包含有其他的振动模态,在键合过程中易被激发出来,由此消耗超声能量而降低芯片的键合质量,这些振动模态必须得到抑制。
- 杨岳锋隆志力段吉安严勇文
- 关键词：换能系统振动模态有限元分析
- 热超声键合换能系统设计及性能分析
- 2008年
- 在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计换能系统,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析。实验表明,实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为12.7Ω,振动位移达到3.725μm,满足超声芯片封装的工艺要求。
- 杨岳锋段吉安隆志力齐斌
- 关键词：热超声键合有限元方法
