沈娇艳
- 作品数：36 被引量：6H指数：1
- 供职机构：苏州科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省产学研前瞻性联合研究项目江苏省高校自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
- MEMS热驱动可变电容的有限元模拟研究
- 2014年
- 设计了一种热致驱动MEMS可变电容器,其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成;上极板由四个对称结构的热驱动器驱动,每个热驱动器主要包括两根冷臂和两根加热臂。通过输入电压,热驱动器发生形变,带动电容器的上极板向上运动,从而使电容值减小。有限元方法模拟结果表明:在4 V驱动电压下,加热臂长为150μm时,电容值变为原先的0.3倍;而加热臂长为300μm时,电容值只有原先的1/10。
- 沈娇艳陈立军程新利臧涛成
- 关键词：有限元分析可变电容
- 氧化浓缩法制备SGOI材料
- 2012年
- 利用SiGe/SOI材料的高温常压氧化技术,研制了SGOI材料。通过透射电镜和Raman光谱分析,获得了SGOI材料的微结构和成份特性。实验结果表明,经过高温氧化,原来的SiGe/SOI材料中的SOI层转变成SiGe层,SiGe层的成分分布均匀,并且通过产生位错等缺陷释放应变,因而形成了具有高度弛豫SiGe层的SGOI材料。
- 程新利沈娇艳潘涛
- 关键词：弛豫
- 一种铽-锗-铋材料、制备方法及其应用
- 本发明公开了一种铽‑锗‑铋材料、制备方法及其应用。它的化学式为Tb<Sub>4</Sub>Ge<Sub>3‑x</Sub>Bi<Sub>x</Sub>，其中，x为Bi的含量，0.2≤x≤2.9；具有反Th<Sub>3</...
- 姚金雷颜长沈娇艳
- 文献传递
- 单根碳纤维的低温磁电阻及室温光电流效应
- 2010年
- 用标准四电极法测量了单根双螺旋碳纤维的低温磁电阻效应,结果表明:该样品呈正磁电阻并在4、10、20、40 K低温下与磁场强度H2成线性关系。光电流效应的测试结果显示,螺旋状的碳纤维在室温下对光照具有较强的反应。
- 沈娇艳臧涛成
- 关键词：磁电阻
- 一种敏感膜气体传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种敏感膜气体传感器及其制备方法。传感器包括内含隔离槽的单晶Si片、热氧化生长的SiO<Sub>2</Sub>、电介质绝缘层、导电层、悬空敏感膜和贵金属催化剂颗粒；先在单晶Si片上制作隔离槽，再沉积电介质绝缘...
- 赵蒙刘国珍沈娇艳高炬
- 文献传递
- 一种热致驱动的MEMS可变电容器及其制备方法
- 本发明涉及一种热致驱动的MEMS可变电容器及其制备方法。电容器由固定的下极板和由热致驱动的上极板组成；热致驱动器包括固定于衬底的冷臂和加热臂组成，通过输入电压，使热致驱动器发生变形，带动电容器的上极板向上运动，使电容值发...
- 沈娇艳陈立军程新利潘涛
- 文献传递
- 压阻式高频动态土应力传感器及制备方法
- 本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及其制备方法，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（...
- 沈娇艳唐运海程新利王冰秦长发潘涛王文襄
- 文献传递
- 压阻式高频动态土应力传感器及制备方法
- 本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及制备方法，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5...
- 沈娇艳唐运海程新利王冰秦长发潘涛王文襄
- 文献传递
- MEMS电磁力驱动器及其制备方法
- 本发明公开一种MEMS电磁力驱动器，包括一端为固定端另一端为悬空端的长方形线圈状悬臂梁、外电路输入电极、外电路输出电极、悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极，一绝缘垫高层位于覆盖于悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极上表面，绝缘垫高...
- 沈娇艳陈立军程新利王耀东
- 文献传递
- MEMS气体压力敏感元件及其制造工艺
- 本发明公开一种MEMS气体压力敏感元件，包括衬底、电容器上极板、电容器下极板、上极板上电极和下极板上电极，所述衬底上具有一SiO2绝缘层，此SiO2绝缘层上表面具有所述电容器下极板和间隔分布的上极板导电层、下极板导电层；...
- 沈娇艳陈立军赵蒙程新利
- 文献传递
