王公峰
- 作品数：7 被引量：7H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于VxWorks辅助时钟的高速网络通信
- 2012年
- 为了满足对双工件台系统高精度、高可靠性的实时运动控制,本文研究并使用了VxWorks的高速辅助时钟和基于消息机制的套接字通信,并制定相应的上下位机通信协议。实践结果表明,采用这种通信方式和通信规则可以有效的实现数据的无丢失传输,达到了高可靠且高速网络通信的效果。
- 王公峰徐仁新李聪李星陈兴林
- 关键词：VXWORKS通信协议网络通信
- 光刻机工件台控制系统设计被引量：5
- 2012年
- 本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制策略仿真,并且分析了控制系统的误差,在实际应用中取得了很好的效果。
- 李聪刘杨王公峰
- 关键词：误差分析状态反馈
- 双工件台控制系统设计及单自由度试验研究
- 光刻机作为半导体技术发展的关键设备,它既要满足光刻特征线宽不断减小的要求,又要不断提高生产效率,因此对超精密定位平台的运动行程、定位精度和运动速度都提出了越来越高的要求。针对这种要求,本文设计了双工件台运动控制系统,对宏...
- 王公峰
- 关键词：控制系统半实物仿真
- 文献传递
- 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
- 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
- 刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
- 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统
- 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统，涉及一种双工件台半物理仿真系统。是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它包括上位机、基于VME总线工控机和三维仿真模型三个部分，上位机与工控机之间通过以太网进行数据和指令的传...
- 刘杨吴勇超陈兴林王公峰杨将毕延帅史新妍
- 文献传递
- 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法
- 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并...
- 刘杨王公峰陈兴林吴勇超刘川王伟峰张旭
- 文献传递
- 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
- 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
- 刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
- 文献传递
