解健芳
- 作品数：16 被引量：23H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学电气工程更多>>
- 葡萄糖传感器与钾离子选择极的集成
- 机加工技术制备了微型葡萄糖传感器和钾离子选择电极并将它们集成于同一芯片上。该文设计的锥形微腔阵列结构提供了大批量生产多功能集成生物和化学传感器的可能性。
- 朱建中解健芳陈芬扣
- 关键词：葡萄糖传感器化学传感器
- 一种二次自对准的镍微静电马达被引量：2
- 1996年
- 设计出一种微静电ｗｏｂｂｌｅ马达，定子电极的一部分重叠在转子之上，微马达用二次自对准的准ＬＩＧＡ技术制作，电铸镍作结构层（定子、转子和轴），电铸铜作牺牲层，得到的转子与定子、转子和轴的间隙分别为２．５和１．３μｍ。马达制备的关键工艺都在低温下完成。在定子和转子间加电压１５Ｖ，观察到马达转子开始晃动，３０～５５Ｖ时连续转动，转速和减速比随电压和频率变化，对实验结果进行了讨论。
- 毛敏耀王效东解健芳王渭源
- 关键词：微电机镍基
- 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法
- 王跃林王文辉李铁解健芳
- 光功率分配器是光纤用户网，光纤有线电视（CATV），无源光网络（PON）中的重要组成部分。普通Y分支光功率分配器在分支处分开的角度一般为1～2度，若分支角增大，分支处的损耗将迅速增加。对于硅基光波导材料，可通过掺杂的方法...
- 关键词：
- 关键词：功率分配器Y分支
- 葡萄糖传感器与钾离子选择电极的集成被引量：1
- 1999年
- 用微机械加工技术制备了微型葡萄糖传感器和钾离子选择电极并将它们集成于同一芯片上。本文设计的锥形微腔陈列结构提供了大批量生产多功能集成生物和化学传感器的可能性。
- 周衍朱建中解健芳陈芬扣陆德仁张国雄
- 关键词：葡萄糖传感器传感器
- 微管道换热器多孔介质模型分析及应用被引量：5
- 2004年
- 将微管道换热器抽象成多孔介质模型,由Brinkman-extended Darcy方程出发,分别按照双方程模型和单方程模型进行求解,以得到微管道内流体的速度场和温度场分布,并对单方程模型和双方程模型的解析解进行了对比,讨论了微管道高宽比和有效导热系数比对流动与传热的影响。证明了由基于多孔介质双方程、单方程模型所得的解析解均可用于预测微管道换热器中的容积平均速度与温度分布。利用基于多孔介质双方程模型还可得出微管道换热器的总热阻和优化设计结构,结合硅衬底上的多路感应耦合等离子体刻蚀工艺加工出了经结构优化的硅制微管道换热器。在满足局部热平衡条件下,基于多孔介质单方程模型更适用于实际工程计算,不必经由预先的试验确定换热系数。
- 陈强杨静宇董涛陈运生戈肖鸿解健芳
- 关键词：微尺度微管道换热器多孔介质模型分析
- 一种对称电容式微差压伺服传感器
- 报道一种测量差压值在1Pa-100Pa左右的高灵敏度差压传感器。在有限元分析的方法对结构进行形变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论计算。在此结果上结合工艺条件，最终确定结构参数。实际工艺上用浓硼扩散...
- 韩明王跃林解健芳
- 关键词：伺服有限元分析
- 金属镍微型静电马达的初步研制被引量：3
- 1995年
- 设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论.
- 王添平王效东解健芳谭淞生王渭源
- 关键词：静电马达反应离子刻蚀镍
- 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法
- 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法，主要特点是采用掺杂的方法改变分支处的折射率，并采用先掺杂后键合和双面光刻工艺，在玻璃衬底上制作大角度Y分支硅光功率分配器，本方法的优点体现为背面掺杂正面刻蚀，因而掺杂深度适当减小...
- 王跃林王文辉李铁解健芳
- 文献传递
- 1×2，2×2机械光开关
- 王跃林李铁吴亚明杨艺榕解健芳向民唐衍哲王东平王文辉王浙辉陈思琴
- 该项目采用微机械加工技术，研制了三种1×2光开关。其原理分别为：①（100）垂直镜面自对准光开关，采用在（100）硅片上腐蚀出垂直的（100）镜面和自对准的光纤V型槽，并采用特殊的抛光技术提高表面质量，通过静电力导致微镜...
- 关键词：
- 关键词：微机械光开关光通信
- 双框架微机械陀螺制备关键技术
- 1999年
- 研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制备技术，即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术，以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构，其活动区面积为1．0×1．0mm2，框架厚度4μm。经加电测试，已观测到内、外框架在空气中的振动。
- 林爱民牛蒙年解健芳杨根庆
