邵珰珰
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
- 静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计
- 2009年
- 为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量,提出了一种频分复用的微位移检测原理,主要介绍了多频率信号发生器,前置放大器,锁相放大器组成的测试系统,设计了一种基于DDS技术的多频率信号发生器和基于锁相放大原理的解调电路。实验和分析结果表明,该电路能实现多自由度微位移检测,设计的多频率信号发生器的频率分辨率能达到0.005821Hz,相位分辨率可以达到0.006rad,检测轴向灵敏度为1.34V/μm,检测径向灵敏度为0.092V/μm,测量电路的轴向位移分辨率为0.45nm,径向位移分辨率为6.6nm,转角的分辨率为0.25μrad,位移检测电路的分辨率,灵敏度和测量范围能够满足静电悬浮转子微陀螺的控制需要。
- 肖奇军陈文元崔峰李胜勇黄晓刚邵珰珰
- 关键词：微陀螺信号发生器锁相放大器
- 静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计被引量：4
- 2008年
- 信号发生电路是静电悬浮转子微陀螺系统的重要组成部分。介绍了DDS信号发生电路的原理及基本构成和微陀螺信号电容检测的要求、特点以及主要技术指标,并根据具体带宽、中心频率的要求,设计了具有不同参数的有源滤波电路。通过电路模拟仿真实验表明了该电路的可行性之后,在具体实验的操作过程中,成功滤去了DDS信号发生电路所产生的低频直流偏置和高频噪声,从而提高了电路的整体信噪比和控制精度,并为后续静电悬浮转子微陀螺检测控制电路提供了较为理想的信号源。
- 邵珰珰陈文元肖奇军崔峰张卫平
- 关键词：微陀螺直接数字频率合成有源带通滤波器
- 静电悬浮转子微陀螺信号处理及虚拟建模仿真
- 随着MEMS技术的飞速发展，微悬浮转子式陀螺逐渐成为研究的热点和关注的焦点。不同于传统振动式陀螺，悬浮转子式具有高精度、高灵敏度等优点，而且排除了振动式微陀螺所固有的正交耦合误差等缺点，成为具有良好发展前景的一种MEMS...
- 邵珰珰
- 关键词：MEMS器件信号处理
- 文献传递
