钟琴
- 作品数:7 被引量:24H指数:2
- 供职机构:重庆大学更多>>
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- 相关领域:理学金属学及工艺文化科学经济管理更多>>
- 添加剂3-巯基-1-丙烷磺酸钠对铜电沉积影响的研究被引量:15
- 2010年
- 采用循环伏安(CV)、线性电位扫描(LSV)、计时安培(CA)和交流阻抗(AC impedance)电化学方法结合扫描电镜(SEM)研究了不同浓度的3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)对CuSO4-H2SO4体系中铜在玻碳电极(GCE)上的电沉积过程的影响.CV,LSV和AC impedance实验结果一致表明MPS阻化铜的电沉积,并且随着MPS浓度的增加,其阻化作用增强.但是MPS对Cu的电结晶过程表现为促进作用,CA与SEM研究结果一致表明,MPS不改变Cu的电结晶成核机理,仍然按瞬时成核和三维生长方式进行,并且成核数目随着MPS浓度的增大而增加.
- 钟琴辜敏李强
- 关键词:MPS铜电沉积电结晶
- 添加剂MPS、PEG、Cl~-对铜电沉积的影响研究
- 铝是传统的集成电路的互连介质,由于铜比铝具有更低的电阻率和较高的抗电迁移性,是较铝更理想的材料。要实现铜在芯片上微米或亚微米级刻槽中的超等角电沉积填充,必须借助添加剂。铜超等角电沉积填充镀液中通常采用的添加剂有3-巯基-...
- 钟琴
- 关键词:铜添加剂电沉积电结晶
- 文献传递
- 基于批发商投机行为和运营商监管的农批市场演化博弈分析
- 随着人们生活质量水平的提高,人们对日常生活必需的农产品品质提出了更高的要求,而我国约 70%的农产品通过农产品批发市场流通,农产品批发市场在保障农产品供应、平稳农产品价格、维护农产品质量安全等方面发挥了无法替代的重要作用...
- 钟琴
- 关键词:农产品批发市场批发商投机行为运营商演化博弈
- MPS/PEG/Cl-作用下铜在玻碳电极上的电结晶过程研究
- 钟琴辜敏
- 关键词:CU电结晶
- 添加剂MPS作用下铜电沉积的研究
- 超大规模集成电路(VLSI)互连工艺中铜的电沉积在国内外都已经有大量的研究,研究表明为了实现铜在芯片亚微米级刻槽中的超等角填充,添加剂是很关键的.目前采用的有机添加剂主要包括促进剂,如聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)或者3-...
- 钟琴辜敏
- 关键词:添加剂超大规模集成电路循环伏安
- 文献传递
- MPS/PEG/Cl-作用下铜在玻碳电极上的电结晶过程研究
- <正>要实现Cu在刻槽中的超等角填充,促进剂如3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)、抑制剂如聚乙二醇(PEG)和氯离子(Clˉ)是必要的添加剂,研究它们协同作用下对Cu电结晶的影响具有重要意
- 钟琴辜敏
- 关键词:CU电结晶
- 文献传递
- 大学生参与创新创业教育的意愿及影响因素——基于558份大学生问卷的调查研究被引量:2
- 2020年
- 大学生是创新创业教育的核心主体,深入研究大学生的参与意愿及影响因素是推进创新创业教育的关键。基于558份大学生的调查问卷,建立Probit模型实证研究了大学生参与创新创业教育的意愿及影响因素。研究发现,75.09%的大学生具有参与创新创业教育的意愿,但仅有25.45%的大学生已经参与了创新创业项目。大学生对创新创业教育的认知度、学生与教师的交流频率、学校开设相关课程、学校提供经费支持、学生参与教师科研项目经历等因素会对大学生创新创业教育参与意愿产生显著正向影响。
- 张玲张林钟琴
- 关键词:大学生创新创业教育参与意愿影响因素