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阎聚群

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇双频
  • 1篇双频激光
  • 1篇双频激光器
  • 1篇双折射
  • 1篇透射
  • 1篇透射光
  • 1篇外差
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇共光路

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇阎聚群
  • 1篇张蕊
  • 1篇孟永钢
  • 1篇林德教
  • 1篇柳忠尧
  • 1篇殷纯永

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
共光路双频外差共焦显微测量装置
共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第...
孟永钢柳忠尧阎聚群张蕊林德教殷纯永
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