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陈苹
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
齐鸣
西安交通大学电子与信息工程学院...
罗晋生
西安交通大学电子与信息工程学院...
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西安交通大学
作者
1篇
罗晋生
1篇
陈苹
1篇
齐鸣
传媒
1篇
半导体技术
年份
1篇
1990
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用高频C-V特性测量表面势和界面陷阱密度及其分布
被引量:1
1990年
本文基于对MOS结构耗尽-弱反型区C-V特性的理论分析,提出了一种利用高频C-V特性直接测量半导体表面势和界面陷阱密度及其按能量分布的简便方法,减少了测量分析的计算量,降低了对样品的要求。本文还给出了一些实验样品的测试结果。
齐鸣
陈苹
罗晋生
关键词:
C-V
半导体
表面势
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