乌晓燕
- 作品数：9 被引量：41H指数：4
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- 相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术电气工程更多>>
- TiN／Si_3N_4纳米多层膜硬度对Si_3N_4层厚敏感性的研究被引量：5
- 2007年
- 通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si_3N_4层厚的TiN/Si_3N_4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和硬度,研究了其硬度随Si_3N_4层厚微小改变而显著变化的原因．结果表明,在TiN调制层晶体结构的模板作用下,溅射态以非晶存在的Si_3N_4层在其厚度小于0．7nm时被强制晶化为NaCl结构的赝晶体,多层膜形成共格外延生长的{111}择优取向超晶格柱状晶,并相应产生硬度显著升高的超硬效应,最高硬度达到38．5 GPa．Si_3N_4随自身层厚进一步的微小增加便转变为非晶态,多层膜的共格生长结构因而受到破坏,其硬度也随之降低．
- 赵文济孔明乌晓燕李戈扬
- 关键词：晶化超硬效应
- 反应溅射碳化钒薄膜及VC/Si3N4、V2C/Si3N4纳米多层膜的制备、生长结构与力学性能
- 硬质薄膜材料在包括刀具涂层在内的表面改性领域有重要的应用。以TiN为代表的氮化物薄膜在刀具涂层上已取得了巨大的成功,而硬度更高的碳化物薄膜作为刀具涂层材料尚未得到充分的研究。 两种材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层膜常...
- 乌晓燕
- 关键词：反应溅射
- 文献传递
- 反应溅射碳化钒薄膜及VC/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>、V<sub>2</sub>C/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>纳米多层膜的制备、生长结构与力学性能
- 硬质薄膜材料在包括刀具涂层在内的表面改性领域有重要的应用。以TiN为代表的氮化物薄膜在刀具涂层上已取得了巨大的成功,而硬度更高的碳化物薄膜作为刀具涂层材料尚未得到充分的研究。两种材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层膜常具...
- 乌晓燕
- VN/SiO_2纳米多层膜的微结构特征与超硬效应
- 2006年
- 赵文济岳建岭乌晓燕李戈扬
- 关键词：纳米多层膜超硬效应SIO2高温抗氧化性AL2O3VN
- TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制被引量：19
- 2007年
- 采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈现晶体态,并与TiN形成共格界面．进一步采用二维结构的TiN／Si3N4纳米多层膜的模拟研究表明,Si3N4层在厚度约<0．7nm时因TiN层晶体结构的模板作用而晶化,并与TiN层形成共格外延生长结构,多层膜相应产生硬度升高的超硬效应．由于TiN晶体层模板效应的短程性,Si3N4层随厚度微小增加到1．0nm后即转变为非晶态,其与TiN的共格界面因而遭到破坏,多层膜的硬度也随之迅速降低．基于以上结果,本文对TiN／Si3N4纳米晶复合膜的强化机制提出了一种不同于nc-TiN／a-Si3N4模型的新解释．
- 孔明赵文济乌晓燕魏仑李戈扬
- 关键词：纳米多层膜界面相超硬效应
- 韧性基体上硬质涂层的扫描电镜截面样品制备方法被引量：4
- 2007年
- 以不锈钢表面涂覆AlN/SiO2纳米多层涂层样品为例,介绍了一种制备韧性基体硬质涂层的截面扫描电子显微镜观察样品的方法,取得了较好的效果。
- 乌晓燕戴嘉维李戈扬
- 关键词：硬质涂层
- Si_3N_4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应被引量：3
- 2009年
- 采用反应磁控溅射法制备了一系列具有不同Si3N4层厚度的AlN/Si3N4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.研究了Si3N4层在AlN/Si3N4纳米多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长结构与力学性能的影响.结果表明,在六方纤锌矿结构的晶体AlN调制层的模板作用下,通常溅射条件下以非晶态存在的Si3N4层在其厚度小于约1nm时被强制晶化为结构与AlN相同的赝形晶体,AlN/Si3N4纳米多层膜形成共格外延生长的结构,相应地,多层膜产生硬度升高的超硬效应.Si3N4随层厚的进一步增加又转变为非晶态,多层膜的共格生长结构因而受到破坏,其硬度也随之降低.分析认为,AlN/Si3N4纳米多层膜超硬效应的产生与多层膜共格外延生长所形成的拉压交变应力场导致的两调制层模量差的增大有关.
- 乌晓燕孔明赵文济李戈扬
- 关键词：超硬效应
- VN/SiO2纳米多层膜的微结构特征与超硬效应
- Sproul 基于两种陶瓷材料以纳米量级交替沉积形成纳米多层膜时,常常会伴随有硬度异常升高的超硬效应,提出采用两种氧化物材料制备纳米多层膜的技术路线,以期通过其超硬效应达到使涂层同时具有高硬度和优良抗氧化性,满足制造业中...
- 赵文济岳建岭乌晓燕李戈扬
- 文献传递
- 反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能被引量：12
- 2009年
- 在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能。研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响。结果表明,采用在Ar-C2H2混合气体中的射频反应磁控溅射技术可以方便地合成碳化钒薄膜。但是,只有在C2H2分压为混合气体总压约4%附近很窄的范围内才可获得力学性能优异的碳化钒薄膜。其硬度和弹性模量分别达到35.5GPa和358GPa,此时,薄膜为NaCl结构的VC,且具有柱状生长的特征。随着C2H2分压的提高,薄膜形成六方结构的-γVC,并逐渐产生非晶碳相,硬度和弹性模量随之降低。
- 李广泽乌晓燕陈扬辉李戈扬
- 关键词：碳化钒硬质薄膜微结构力学性能磁控溅射
