2024年8月31日
星期六
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何秀丽
作品数:
96
被引量:178
H指数:8
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
一般工业技术
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合作作者
李建平
中国科学院电子学研究所
高晓光
中国科学院电子学研究所
贾建
中国科学院电子学研究所
赵玲
中国科学院电子学研究所
郭会勇
中国科学院电子学研究所
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何秀丽
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李建平
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贾建
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2006
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2005
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2004
2篇
2003
2篇
2002
共
96
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高纯氮气检测方法及装置
本公开提供了一种高纯氮气检测方法及装置,该方法基于离子迁移谱原理,采用负电晕电离法将样品气体电离形成离子,使形成的离子在漂移电场的作用下发生漂移,以使杂质离子分离,并对分离出的杂质离子进行检测,获得样品气体中的杂质浓度。...
付宁
高晓光
何秀丽
贾建
李建平
梁阳建
文献传递
用于微测辐射热计的氧化钒薄膜制备
采用射频(RF)反应溅射法,在微结构衬底上制备氧化钒薄膜,研究了氧气压、衬底温度、退火条件及薄膜厚度对薄膜电阻及电阻温度系数(TCR)的影响.在氮气保护下,采用常规退火和快速升降温退火对薄膜进行热处理.结果表明:氧分压、...
王利霞
李建平
何秀丽
高晓光
关键词:
氧化钒
射频溅射法
电阻温度系数
微测辐射热计
文献传递
RGTO SnO2薄膜制备工艺及气敏特性研究
针对RGTO SnO2薄膜颗粒粒径较大的问题,通过对磁控溅射气压的控制,制备出了纳米粒径RGTO SnO2薄膜,用SEM表征了其微观结构及形貌,计算了其粒径分布,研究了溅射气压对其形核及生长过程的影响,测试了薄膜对乙醇的...
张阳
何秀丽
高晓光
李建平
关键词:
二氧化锡薄膜
气敏特性
一种具有分级结构的金属或金属氧化物及其制备方法
一种具有分级结构的金属/金属氧化物及其制备方法,该方法包括:(1)配置聚乙烯吡咯烷酮溶液并进行静电纺丝;(2)对纤维表面进行刻蚀以得到具分级结构的纤维模板;(3)在分级结构纤维模板表面溅射金属或者金属氧化物;(4)利用高...
范祥祥
何秀丽
高晓光
贾建
李建平
离子迁移率谱仪半透膜预富集进样方法及装置
本发明公开了一种离子迁移率谱仪半透膜预富集进样方法及装置,涉及离子迁移率谱仪技术,该装置包括采样部分、半透膜进样部分和解吸部分,其中半透膜进样部分包括半透膜、半透膜温控装置;在离子迁移率谱仪半透膜富集进样过程中,采样时半...
高晓光
贾建
李建平
何秀丽
文献传递
基于超薄钽酸锂晶片及炭黑红外吸收层的热释电探测器
被引量:3
2014年
基于钽酸锂(LiTaO3)的热释电探测器具有灵敏度高、热释电系数大、响应范围宽等优点而被广泛应用于非分光红外气体检测.在nTaO3,热释电探测器制备过程中,采用预置沟槽方法制备出约20μm厚的超薄LiTaO3晶片,该方法既能控制晶片厚度又能实现自动解片,简化了探测器制备工艺;采用电喷雾方法制备出炭黑红外吸收层,该方法工艺简便,制备的吸收层分布均匀,结构疏松.电喷雾时间为20rain时制备的吸收层在常用气体吸收波段(2.5~10μm)的红外吸收率达98%以上,使探测器信号幅值提高了约2.6倍.热释电探测器性能测试结果表明:单元结构探测器的黑体探测率可达1.78×10。cm·Hz1/2。/W;二元补偿结构探测器信噪比为单元器件的2倍;将二元补偿结构探测器应用于非分光红外气体测试系统,进行了SO2气体检测,等噪声检测下限约为1×10^-6.
赵玲
赵燕
何秀丽
贾建
高晓光
李建平
关键词:
热释电
钽酸锂
气体检测
MEMS负电晕放电气体传感器
被引量:2
2016年
设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6×10^(-4)的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的放电特性,传感器对乙酸气体响应最灵敏。测试了传感器在-0.91 kV放电电压下对乙酸气体的敏感特性。结果表明,该传感器对不同体积分数的乙酸气体的响应具有较好的线性关系,对体积分数为10^(-6)的乙酸气体的响应约为0.61 mV,理论检测限(三倍噪声)约为1.2×10^(-5)。传感器对乙酸气体响应灵敏度高、重复性好。
张金英
杨天辰
何秀丽
高晓光
贾建
李建平
关键词:
气体传感器
手持式酒气检测仪
2005年
编号:0501203 该实用新型专利是一种手持式酒气检测仪,涉及气体检测和模式识别技术领域。
何秀丽
贾建
李建平
高晓光
关键词:
模式识别
气敏传感器
微控制器
采用电喷雾/电晕放电双模式离子源的离子迁移率谱仪
一种采用电喷雾/电晕放电双模式离子源的离子迁移率谱仪,实现两种电离方式的切换,扩展可检测样品的范围;离子源装置有液冷、加热膜部件,用于快速设定喷针工作温度,满足两种电离方式对喷针温度的不同要求,扩大进样样品流量范围,提高...
贾建
高晓光
何秀丽
李建平
文献传递
金属氧化物微结构气体传感器阵列及其应用研究
近年来微结构气体传感器阵列和纳米金属氧化物材料一直是气体传感器领域的研究热点。论文结合实际应用需求,研究了微结构气体传感器阵列制备、纳米敏感材料形貌控制和阵列同敏感材料的工艺兼容性等问题,研制了四单元微结构乙醇传感器阵列...
何秀丽
关键词:
气体传感器
微结构
工作温度
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