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刘庆

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇硬质
  • 2篇硬质薄膜
  • 2篇噪音污染
  • 2篇真空室
  • 2篇污染
  • 2篇溅射
  • 2篇反应气体
  • 2篇衬底
  • 2篇衬底温度
  • 1篇性能研究
  • 1篇MO-SI
  • 1篇N

机构

  • 3篇中国科学院宁...

作者

  • 3篇刘庆
  • 3篇吕鹏辉
  • 3篇倪浩明
  • 2篇汪爱英
  • 2篇方前锋

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2009
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种纳米复合多层硬质薄膜制备方法
本发明涉及一种多层硬质薄膜的制备方法，该法包括以下步骤：(1)将衬底基片表面进行打磨、清洗、烘干；(2)将清洗好的衬底基片置于真空室里，将真空室抽真空；(3)打开加热电源，将衬底基片加热，往真空室内通入溅射气体氩气，调整...
吕鹏辉方前锋倪浩明刘庆汪爱英
文献传递
纳米复合Mo-Si-N硬质薄膜的制备与性能研究
利用直流反应磁控溅射方法,通过改变靶材中不同Mo/Si面积比制备了不同成份比例的纳米复合硬质薄膜氮硅钼Mo-Si-N。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)以及X射线衍射(XRD)对微观组织、形貌以及薄膜晶体结构进行了分...
吕鹏辉刘庆倪浩明
文献传递
一种纳米复合多层硬质薄膜制备方法
本发明涉及一种多层硬质薄膜的制备方法，该法包括以下步骤：(1)将衬底基片表面进行打磨、清洗、烘干；(2)将清洗好的衬底基片置于真空室里，将真空室抽真空；(3)打开加热电源，将衬底基片加热，往真空室内通入溅射气体氩气，调整...
吕鹏辉方前锋倪浩明刘庆汪爱英
文献传递
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