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刘毓耿

作品数:3 被引量:3H指数:1
供职机构:暨南大学理工学院电子工程系更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:核科学技术电子电信理学更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇辐照
  • 1篇电容
  • 1篇剂量计
  • 1篇氟化
  • 1篇LPCVD

机构

  • 3篇暨南大学

作者

  • 3篇易清明
  • 3篇刘毓耿
  • 2篇黄君凯

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 2篇2000
  • 1篇1995
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
MNOS电容的辐照吸收特性被引量:1
1995年
本文报告MNOS存储电容的辐照吸收规律与电容对存储电荷的保留特性之间有一定的内在联系:在SiO2膜辐照响应的集总常数保持不变时,样品对存储电荷的保留能力越强,则辐照响应的敏感剂量越往小剂量方向移动.
刘毓耿易清明刘竞云
关键词:电容辐照
一种可用于辐照剂量计的新型器件
2000年
应用高纯氮携带液氧蒸气作为氧源的热氧化技术和 Si H4- NH3体系 L PCVD技术 ,制作对辐照吸收有明显响应的 MNOS器件 ,在 10 3~ 10 5 Gys剂量范围内其平带电压漂移值随辐照剂量的增加按指数规律衰减。样品接受辐照是非破坏性的 ,在接受 5× 10 5 Gys的大剂量辐照后 ,通过简单的正负脉冲电压处理就可恢复到初始状态 ,并在接受新的辐照时以同样的规律给出响应 。
易清明黄君凯刘竞云刘毓耿
关键词:LPCVD
MNOS电容辐照吸收剂量计的研究被引量:2
2000年
从理论上给出了具有存储特性的 MNOS电容在存储电荷后经受γ射线辐照的响应规律 ,并利用这一特性制作电子辐照吸收剂量计。采用 L PCVD工艺制作了具有存储特性的 MNOS电容 ,经自行研制对存储电荷干扰极小的 MNOS电容辐照实验测试系统 ,对样品进行了 60 Co辐照响应规律的研究。结果表明 :MNOS电容电子辐照剂量计适用于 10 3 ~ 10 5Gy范围内的累计剂量的测量。这种新型剂量计的优点是 :一次性校准可重复多次使用并可直接读数的电子测量方式 ,便于测量自动化 ,非常适用于太空飞行器和核技术应用中累计剂量的测量。
易清明黄君凯刘竞云刘毓耿
共1页<1>
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