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刘永强
作品数:
2
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供职机构:
河北机电学院自动化工程系
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相关领域:
经济管理
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合作作者
王彦池
河北机电学院自动化工程系
王文平
河北机电学院自动化工程系
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自校正调节器
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超高压汞灯
1篇
自校正
机构
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河北机电学院
作者
2篇
刘永强
2篇
王彦池
1篇
王文平
传媒
2篇
河北工业科技
年份
2篇
1989
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2
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超高压汞灯的自校正调节方案研究
1989年
本文对最小方差自校正调节器在超高压汞灯控制中的应用做了研究。结果表明,这种应用有较显著的优点,其光强控制精度可达0<0.2%。
刘永强
罗培成
王彦池
黄笑梅
关键词:
自校正调节器
LQ
超高压汞灯
DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
1989年
本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
王文平
刘永强
罗培成
王彦池
关键词:
动态规划
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