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刘永强

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:河北机电学院自动化工程系更多>>
相关领域:经济管理更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇经济管理

主题

  • 1篇调节器
  • 1篇调节系统
  • 1篇动态规划
  • 1篇自校正调节
  • 1篇自校正调节器
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇光强
  • 1篇LQ
  • 1篇超高压汞灯
  • 1篇自校正

机构

  • 2篇河北机电学院

作者

  • 2篇刘永强
  • 2篇王彦池
  • 1篇王文平

传媒

  • 2篇河北工业科技

年份

  • 2篇1989
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
超高压汞灯的自校正调节方案研究
1989年
本文对最小方差自校正调节器在超高压汞灯控制中的应用做了研究。结果表明,这种应用有较显著的优点,其光强控制精度可达0<0.2%。
刘永强罗培成王彦池黄笑梅
关键词:自校正调节器LQ超高压汞灯
DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
1989年
本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
王文平刘永强罗培成王彦池
关键词:动态规划
共1页<1>
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