卓永模
- 作品数：77 被引量：151H指数：8
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法
- 本发明公开了一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法。在检测大口径精密元件表面时，需要将扫描的成百上千帧子孔径图利用数字图像处理的方法实施图像拼接。本发明针对影响全孔径拼接时的误差——CCD坐标与扫描轨迹坐标...
- 杨甬英刘东刘旭卓永模
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- 近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法
- 本发明公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论...
- 杨甬英陆元彪陈阳杰卓永模
- 文献传递
- 非球面部分补偿检测系统的误差分析与处理被引量：5
- 2012年
- 为了实现非球面通用化、高精度检测,提出非球面部分补偿法,并进行误差分析与处理.在光学设计软件ZEMAX中对部分补偿检测系统进行系统建模并优化,分析器件姿态误差及装调精度对重构非球面面形的影响.通过对系统误差的分析,提出基于系统建模的光线追迹与误差存储相结合的系统误差处理方法,将系统误差归为由系统建模得到检测光路的误差和由误差存储得到不含检测光路的干涉仪系统的误差.通过计算机仿真及实验证明,部分补偿检测系统采用该误差处理方法去除系统误差后,可以由逆向迭代优化重构(ROR)技术重构出更精确的非球面面形.将该非球面面形与采用无像差点法得到的面形对比,结果较吻合,均方根(RMS)精度接近0.02λ(λ为波长).
- 骆永洁杨甬英田超韦涛卓永模
- 关键词：非球面检测误差分析
- 双焦干涉球面轮廓仪机构分析
- 1996年
- 介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对议器结构的核心部分：扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。
- 徐敏卓永模杨甬英
- 关键词：双焦干涉轮廓仪
- 不同波前振幅分布对于斯特列尔比的影响
- 2005年
- 斯特列尔比SR(StrehlRatio)是衡量一个光学系统光能强度分布优劣的重要评价指标。本文根据激光核聚变中利用修正SR模型,数学推导研究得出了波前位相及振幅信息,获取最大的SR比的两者匹配条件:即斯特列尔比与波前振幅分布和波前位相的指数函数分布的一致性成正比关系。并对该结论进行了计算机仿真验证。实验根据一有象差波面位相与一组不同的振幅分布函数进行匹配计算:当给定波前位相分布(PV<1λ)时,则不同的振幅分布得到的斯特列尔比从0.92-0.99之间变化。实验结果表明当波前振幅分布与波前位相的指数函数分布一致性越好,系统斯特列尔比越大,并且斯特列尔比主要由波前位相分布决定。该结论说明:虽然激光核聚变中振幅是高阶超高斯型分布的平顶光束,只有当波前位相的均方根趋于零相当于一平面波时则其指数分布与振幅分布达到了好的一致性,才能得到高的SR比。
- 陆元彪杨甬英陈阳杰卓永模张小民陈波秦兴武
- 关键词：光学检测激光核聚变
- 激光扫描力显微镜
- 一种激光扫描力显微镜，其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计...
- 卓永模牟旭东杨甬英游艺锋
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- 光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化方法
- 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的...
- 杨甬英陈晓钰王世通高鑫卓永模
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- 中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置及其方法
- 本发明公开了一种中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置及其方法。本发明的技术特点是在传统径向剪切干涉检测方法的基础上，通过提高望远镜系统的剪切率，并利用反射镜在竖直方向的倾斜将缩束光斑移至扩束光斑的边缘区域，使...
- 杨甬英凌曈田超孙磊卓永模
- 实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪被引量：4
- 1999年
- 介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术，同时研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪．该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样；利用干涉共模抑制技术，有效抑制了各种噪声，测量数据可靠；实时显示表面轮廓参数及轮廓图，仪器横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ．
- 杨甬英徐敏卓永模
- 关键词：干涉术非接触测量表面粗糙度
- 可用于非球面通用化检测的部分零位透镜
- 提出了一种具有较大球差的部分零位透镜,该透镜可以对一定范围内的非球面实现部分零位补偿。详细论述了部分零位透镜设计的约束控制条件以及初始结构的选取原则,并就相对口径为f/2和f/1.5的两个抛物面给出了设计实例。设计结果表...
- 刘东杨甬英田超卓永模
- 关键词：非球面检测
- 文献传递
