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姜辉

作品数:6 被引量:3H指数:1
供职机构:盐城师范学院新能源与电子工程学院更多>>
发文基金:高等学校物理基础课程教学指导分委员会教改项目更多>>
相关领域:理学文化科学更多>>

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 5篇理学
  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇溅射
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇溅射制备
  • 2篇磁控溅射制备
  • 1篇大学物理
  • 1篇弹性模量
  • 1篇新建本科
  • 1篇新建本科院校
  • 1篇院校
  • 1篇碳膜
  • 1篇偏压
  • 1篇中频磁控溅射
  • 1篇膜结构
  • 1篇教学现状
  • 1篇教学状况
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇课程
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜

机构

  • 6篇盐城师范学院
  • 3篇四川大学

作者

  • 6篇姜辉
  • 2篇邹宇
  • 1篇刘成林
  • 1篇代海洋
  • 1篇戴通

传媒

  • 2篇长春理工大学...
  • 1篇真空
  • 1篇中国校外教育
  • 1篇太原师范学院...
  • 1篇林区教学

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
基体偏压对中频磁控溅射沉积DLC膜结构的影响被引量:1
2008年
利用中频非平衡磁控溅射技术,以氩气和甲烷混合气体为工作气体,在载玻片和单品硅片上沉积含氢的类金刚石薄膜。改变加载在基体上的负偏压,在0-400V范围内,制备5种偏压值下的薄膜,研究偏压对薄膜结构的影响。用光学显微镜和AFM考察薄膜的光学形貌;激光Raman谱定性分析膜的化学组分;FTIR分析其C—H键合类型;纳米压痕法测量膜的硬度。结果表明:当基体上施加偏压-100V时,可以有效地提高沉积粒子与基体结合力以及薄膜的致密性,薄膜中正四面体的sp^3结构和sp^3CHn含量增加,纳米硬度提高。
姜辉代海洋
关键词:偏压
氧在阻氢薄膜TiC_x中的行为研究
2010年
采用磁控溅射和离子束混合技术制备不同C/Ti含量比的TiCx阻氢薄膜,并利用XPS测试手段分析氧在薄膜中的分布及存在方式,进而分析C/Ti含量比和H+辐照对氧行为的影响,以期求得在不影响TiCx薄膜阻氢性能的基础上有效降低薄膜中氧含量的途径,提高薄膜的抗氧化性能,延长薄膜的有效寿命。
姜辉
关键词:XPS
新建本科院校《大学物理》课程教学状况的调查与分析——以盐城师范学院为例被引量:1
2012年
通过调查问卷的形式,选取学完或即将学完《大学物理》课程的学生进行调查。在回收的有效问卷中,接近80%的学生对《大学物理》课程的教学持积极的态度和充分的认同。同时也反映出《大学物理》教学过程中诸如教学形式不够灵活、多媒体运用不够到位、与物理学前沿知识联系不够密切等问题。因此,在《大学物理》教学过程中应该在不断充实教学内容、探究全新的教学方法、充分运用多种教学手段、加强学生学习方法的引导等方面下工夫,从而提升《大学物理》教学的效率。
刘成林姜辉戴通
关键词:大学物理教学现状
浅析磁铁在无限长竖直钢管中的运动状态
2010年
本文以物理问题"磁铁在无限长竖直钢管内的运动",激发学生的学习兴趣,用物理定律分析,定性分析出它的运动状态,启发学生的思维,使学生对学习内容有更深刻的理解。
姜辉
关键词:磁铁
中频磁控溅射制备a-C∶H薄膜中沉积功率的影响
2009年
采用中频反应磁控溅射方法,在不同溅射沉积功率下,在单晶Si基片上沉积了a-C∶H薄膜.研究了不同沉积功率对a-C∶H薄膜的形貌、硬度、弹性的影响,并用Raman和FITR分析了引起a-C∶H薄膜形貌和力学性能变化的原因.结果表明,沉积功率对薄膜的形貌、硬度和弹性都有很大的影响,在功率为140 W时沉积的a-C∶H薄膜表面致密,具有最大的硬度和弹性模量.
姜辉邹宇
关键词:类金刚石薄膜弹性模量
沉积温度对中频磁控溅射制备含氢非晶碳膜表面形貌和力学性能的影响被引量:1
2009年
作为红外窗口的保护层,含氢非晶碳膜(a-C:H)是薄膜材料研究的热点。本文利用中频非平衡磁控溅射技术,以氩气和甲烷混合气体为工作气体,在单晶硅片上沉积含氢的a-C:H膜。改变沉积温度,制备常温和加温到80℃、120℃、150℃四种不同的溅射温度下沉积的a-C:H膜,发现薄膜的表面形貌、纳米硬度与沉积温度的变化不是成简单的线性关系。用Raman和FITR分析了引起a-C:H膜表面形貌和力学性能变化的原因。结果表明,Raman和FITR分析表明基体温度为80℃以上沉积的膜中化学结构是以sp2键和C-H键非刚性键约束的聚合物结构为主,不能形成三维网络结构,对硬度的贡献几乎为零,所以硬度最低;常温时沉积,薄膜中含氢量低,正四面体的sp3结构增加,薄膜的硬度和弹性都增大。
姜辉邹宇
关键词:中频磁控溅射含氢非晶碳膜表面形貌
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