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微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究（英文）被引量：1: 2013年; 本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统。纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块。在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头应用于三维测量以及定位。三个压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机。机械机构的运动平台按照特殊的原理设计,可以最大化的消除阿贝误差。长度测量系统采用了激光回馈干涉仪。所提出的驱动与控制策略,可以实现长距离纳米级精度的快速精密驱动以及定位。X、Y、Z三个方向上的行程为50mm×50mm×50mm。目前,本系统可以实现对不定距离的单方向的快速稳定的逼近,并有效防止过冲。在一维内,不同位置点的定位波动可以被控制在±4nm左右。经过目前的测试,本系统适用于纳米三坐标测量机的驱动与控制任务。; 黄强先宫二敏韩彬张维富徐从裕; 关键词：纳米三坐标测量机压电直线电机反馈控制

零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析被引量：21: 2013年; 为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台。该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,x向和y向测量系统的测量线与xy导轨面共面。针对本工作台的特点,在参考常规三坐标测量机误差分析的基础上,详细分析了该工作台中各项误差的影响,给出了影响测量机不确定度的主要误差源,并对这些误差提出了修正方法。在研制的工作台上对一等量块进行了实验测试。结果显示,一等量块工作面的平面度测量标准差为11nm,台阶高度标准差为21nm,其中台阶高度测量平均值与检定值相差1nm。理论分析和实验结果表明,所研制的工作台从结构上避免了CMM中多项误差源的影响,尤其是避免了阿贝误差的影响,可用于高精度的三维测量。; 黄强先余夫领宫二敏王晨晨费业泰; 关键词：纳米三坐标测量机阿贝误差

共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究被引量：1: 2014年; 该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值,以检验修正后的微纳米三坐标测量机测量精度。实验结果显示,一等量块工作面的平面度测量重复性标准差达到9.5nm,x和y方向长度测量的标准差分别达到了10nm和19nm。理论分析和实验表明,所研制的二维高精度工作台可用于高精度的三维测量。; 宫二敏黄强先余夫领

基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法: 本发明公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型...; 黄强先余惠娟魏晋鹏黄帅宫二敏李志渤; 文献传递

微纳米CMM测量探头标定方法研究及系统测试: 三坐标测量机是实现三维方向测量的主要测量仪器。随着现代工业的发展，具有纳米级三维测量精度的三坐标测量机和三维接触式探头，正成为国内外许多高校和研究所的研究热点。　　简要介绍了国内外纳米三坐标测量机以及三维探头的发展现状。...; 宫二敏; 关键词：三坐标测量机

一种全偏振条纹管激光成像雷达装置: 本发明公开了一种全偏振条纹管激光成像雷达装置。该装置包括：激光器；扩束镜，设置在激光器的输出光路上；接收天线，设置在待测目标的出射光路上；狭缝，设置在接收天线的输出光路上；聚焦透镜，设置在狭缝的出射光路上；偏振分光系统，...; 宫二敏范之国熊伟高隽张旭东; 文献传递

基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法: 本发明公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型...; 黄强先魏晋鹏余惠娟黄帅宫二敏李志渤

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宫二敏