庞娜
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 铜薄膜微观结构和织构的研究被引量：2
- 2011年
- 用电子背散射衍射(EBSD)和X射线衍射(XRD)研究了Cu薄膜的微观结构和织构。实验结果表明,在单晶硅表面通过热蒸发制备的Cu薄膜平均晶粒尺寸小于200nm,并且存在着大量的孪晶。增加薄膜厚度和200℃退火可使晶粒尺寸有所长大,Cu薄膜中存在较强的{111}纤维织构,增加薄膜厚度{111}纤维织构减弱,200℃退火后{111}纤维织构增强。
- 庞娜陈冷
- 关键词：微观结构织构
- 铜薄膜微结构的X射线衍射线形分析
- 2012年
- 首先采用真空蒸镀法制备了不同厚度的铜薄膜,并对薄膜进行了退火处理;然后用X射线衍射仪测定铜薄膜的衍射谱,最后采用线形分析法对衍射谱进行计算,得到了不同厚度铜薄膜退火前后的晶粒尺寸和微应变。结果表明:真空蒸镀铜薄膜晶粒尺寸随薄膜厚度的增加而增大,微应变随薄膜厚度的增加而减小;退火处理后薄膜晶粒明显长大,薄膜微应变在退火处理后明显减小。
- 龙梦龙庞娜陈冷
- 关键词：铜薄膜晶粒尺寸
