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张永平

作品数：10 被引量：15H指数：1
供职机构：中北大学更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 10篇感器
  • 10篇传感
  • 10篇传感器
  • 7篇速度传感器
  • 7篇加速度
  • 7篇加速度传感器
  • 6篇单片
  • 6篇单片集成
  • 6篇电阻
  • 6篇压敏电阻
  • 5篇压阻
  • 5篇压阻式
  • 4篇加速度计
  • 3篇声传感器
  • 3篇超声传感器
  • 2篇弹性梁
  • 2篇电桥
  • 2篇循环检测
  • 2篇压阻式加速度...
  • 2篇振动膜

机构

  • 10篇中北大学

作者

  • 10篇何常德
  • 10篇张永平
  • 9篇薛晨阳
  • 9篇张文栋
  • 8篇张国军
  • 8篇杜春晖
  • 6篇熊继军
  • 6篇刘俊
  • 5篇苗静
  • 5篇于佳琪
  • 4篇廉德钦
  • 4篇宛克敬
  • 2篇葛晓洋
  • 2篇王红亮
  • 1篇李玉平

传媒

  • 1篇压电与声光
  • 1篇2013‘全...

年份

  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 3篇2013
  • 3篇2012
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
单片集成八梁臂三轴加速度计
本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
MEMS电容式超声传感器设计被引量：15
2013年
在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能。利用ANSYS静电-结构耦合仿真给出了塌陷电压。介绍了敏感单元的工艺流程。所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24fF/Pa,塌陷电压为70V,量程为48kPa。
于佳琪何常德张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋
关键词：阳极键合
基于双路循环电桥检测的三轴压阻式加速度传感器
本发明为一种基于双路循环电桥检测的三轴压阻式加速度传感器，该传感器的该检测法打破了普通三轴压阻式加速度传感器至少使用12个压敏电阻，每4个连接成一个惠斯通电桥检测一个方向输出信号的“单向检测”规律，提出了一种对三轴加速度...
张文栋何常德张娟婷张国军薛晨阳熊继军刘俊杜春晖张永平
文献传递
压阻式单片集成四梁三轴加速度计
本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种压阻式单片集成四梁三轴加速度计，解决了现有压阻式三轴加速度计存在结构复杂，灵敏度低，轴间耦合大的问题。该加速度计包括四根弹性悬臂梁、质量块和支撑边框，质量块四个边分...
张文栋何常德张国军薛晨阳熊继军刘俊张永平杜春晖
文献传递
基于双路循环电桥检测的三轴压阻式加速度传感器
本发明为一种基于双路循环电桥检测的三轴压阻式加速度传感器，该传感器的该检测法打破了普通三轴压阻式加速度传感器至少使用12个压敏电阻，每4个连接成一个惠斯通电桥检测一个方向输出信号的“单向检测”规律，提出了一种对三轴加速度...
张文栋何常德张娟婷张国军薛晨阳熊继军刘俊杜春晖张永平
文献传递
单片集成八梁臂三轴加速度计
本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
文献传递
单片集成MEMS压阻超声传感器
本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位...
薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
单片集成MEMS压阻超声传感器
本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位...
薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
文献传递
一种压阻式八固支梁三轴加速度传感器
设计并制造了一种八固支梁结构的压阻式三轴加速度传感器.文中针对该结构的机械性能分析,建立了一个简化的数学模型,并采用有限元分析方法进行了仿真验证。给出了该加速度传感器的微加工工艺流程.测试结果显示x、Y、z三个方向的静态...
张永平何常德张娟婷杜春晖丑修建张文栋
关键词：三轴加速度传感器有限元分析
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压阻式单片集成四梁三轴加速度计
本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种压阻式单片集成四梁三轴加速度计，解决了现有压阻式三轴加速度计存在结构复杂，灵敏度低，轴间耦合大的问题。该加速度计包括四根弹性悬臂梁、质量块和支撑边框，质量块四个边分...
张文栋何常德张国军薛晨阳熊继军刘俊张永平杜春晖
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