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文耀华
作品数:
19
被引量:6
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电气工程
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金属学及工艺
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合作作者
陈子辰
浙江大学现代制造工程研究所
王文
浙江大学
余建平
浙江大学
卢科青
浙江大学
魏燕定
浙江大学现代制造工程研究所
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逆向工程中多传感器集成的数字化测量技术及装备
陈子辰
王文
卢科青
韦东波
陆军华
高贯斌
林铿
卢新祖
徐由华
郭重宝
陈盛广
余建平
吴尧锋
文耀华
张选高
1.课题来源与前景:如何快速、高效、准确地进行复杂产品的质量检测和产品的快速数字化逆向设计一直是机械领域的前沿研究方向。主要采用接触式测头、激光测头等单一传感器的测量技术,在常规的坐标测量机使用这些单一的测头对产品的几何...
关键词:
关键词:
坐标测量机
传感器
逆向工程
基于压电堆驱动器的压电气阀
本发明公开了一种基于压电堆驱动器的压电气阀。在阀体内用铰链与弹性挡板的一侧连接,其另一侧的下端装有调力螺钉,上端装有密封圆盘并接出气端,阀体上装有进气端,装在阀体外的弹性支承与压电堆驱动器的一端相接触,其另一端与调整螺钉...
魏燕定
赖小波
高平波
吕存养
文耀华
文献传递
一种基于压电堆驱动器的压电气阀
本实用新型公开了一种基于压电堆驱动器的压电气阀。在阀体内用铰链与弹性挡板的一侧连接,其另一侧的下端装有调力螺钉,上端装有密封圆盘并接出气端,阀体上装有进气端,装在阀体外的弹性支承与压电堆驱动器的一端相接触,其另一端与调整...
魏燕定
赖小波
高平波
吕存养
文耀华
文献传递
一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器
本发明公开了一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器。由主轴旋转电极和同轴安装在主轴旋转电极外的柱面固定电极构成;其中:主轴旋转电极:是在主轴外圆柱面向外依次包覆有第一绝缘层、主轴铜电极和第二绝缘层;柱面固定电极:是在电...
王文
文耀华
卢科青
相奎
陈子辰
文献传递
一种基于平面电容的六自由度位移测量方法
本发明公开了一种基于平面电容的六自由度位移测量方法。由移动极板和固定极板组成;固定极板上分布有正方形的电容电极阵列;移动极板上分布有八个矩形传感电容电极;八个传感电容电极分成四组,每组的两个电极在测量方向存在1/4周期位...
余建平
王文
卢科青
文耀华
陈子辰
文献传递
基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法
本发明公开了一种基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法。它由一个电容传感器转子和一个电容传感器定子组成。电容传感器转子安装在主轴上,上面设置有三段电容电极,为一个等电位电极;电容传感器定子上设置有三段电容传感电...
王文
余建平
卢科青
文耀华
陈子辰
主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置
本发明公开了一种主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置。由安装于被测主轴轴端经过精密车削的法兰、四个点激光发生器、四个CCD相机(简称CCD)及其它附件组成。测量过程中法兰随被测主轴一起转动,四个点激光发生器发射四束激...
王文
文耀华
卢科青
余建平
陈子辰
一种基于柱面电容传感器的主轴五自由度测量方法与装置
本发明公开了一种基于柱面电容传感器的主轴五自由度运动误差测量方法与装置。在阶梯形转子的小端安装定子,定子的内柱面中安装四个径向电极,四个电极与转子小端构成四个电容,靠近阶梯形转子的大端面一侧的定子侧面安装四个等分布置的端...
王文
文耀华
卢科青
余建平
陈子辰
一种基于平面电容的六自由度位移测量方法
本发明公开了一种基于平面电容的六自由度位移测量方法。由移动极板和固定极板组成;固定极板上分布有正方形的电容电极阵列;移动极板上分布有八个矩形传感电容电极;八个传感电容电极分成四组,每组的两个电极在测量方向存在1/4周期位...
余建平
王文
卢科青
文耀华
陈子辰
应用于高精度主轴回转误差监测的柱状电容传感器研究
超精密加工技术在精密机械、汽车、航空、航天、IC制造和微电子等诸多高新科技领域都有着非常重要而又广泛的应用,其中高精度主轴又是实现超精密加工技术的核心部件。近年来,随着超精密加工技术的不断发展,对高精度主轴回转误差提出了...
文耀华
关键词:
超精密加工
回转误差
微弱信号检测
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