曹文会
- 作品数：74 被引量：17H指数：4
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术理学更多>>
- NbxSi1-x势垒层的约瑟夫森结阵列
- 量子电压计量利用的是交流约瑟夫森效应,即将特定频率的微波通过约瑟夫森结时在结的I-V 曲线上可观察到量子化的电压台阶.每一级电压台阶在电压轴的位置是Vn=nf(h/2e),n 为正整数,因为微波的频率f 可以精确确定,而...
- 钟源李劲劲Samuel P.BenzPaul D.DresselhausDavid Olaya曹文会钟青王雪深
- 微纳米器件光刻加工方法
- 一种微纳米器件光刻加工方法，包括：在第一版层模板上制作第一光刻标记；将第一版层模板贴附在待加工微纳米器件的样品上进行曝光显影；在第一版层模板上制作第二光刻标记；第二光刻标记的线段间隔与第一光刻标记的线段相匹配，第一光刻标...
- 曹文会李劲劲钟源钟青王雪深
- 超导薄膜、超导薄膜制备方法及超导转变边沿探测器
- 本申请提供一种超导薄膜、超导薄膜制备方法及超导转变边沿探测器。超导薄膜的截面面积沿通入电流的电流流动方向单向增加或递减。如图1所示，沿通入电流的电流流动方向，截面面积(S1、S2所示)单向增加或递减。此时，随电流密度的升...
- 徐骁龙李劲劲王雪深钟青钟源曹文会王仕建陈建
- 文献传递
- 一阶梯度并联型SQUID电流传感器以及制备方法
- 本申请涉及一种一阶梯度并联型SQUID电流传感器以及制备方法。所述环路电极形成一个封闭环路。所述第一约瑟夫森结结构的第一超导薄膜结构设置于所述环路电极。所述第二约瑟夫森结结构的第一超导薄膜结构设置于所述环路电极。所述第一...
- 徐达李劲劲曹文会王雪深
- 超导量子数模转换电路
- 本申请提供一种超导量子数模转换电路。约瑟夫森结阵列的输入端为数字脉冲输入端，将脉冲信号输入约瑟夫森结阵列中。终端电阻模块设置于超导量子数模转换电路的末端，可以耗散传输至此的信号，保证了输入的高速脉冲信号在所述约瑟夫森结阵...
- 钟源李劲劲钟青王雪深曹文会屈继峰周琨荔赵建亭
- 文献传递
- 约瑟夫森结阵量子台阶确定方法、装置、设备和存储介质
- 本申请涉及一种约瑟夫森结阵量子台阶确定方法、装置、设备和存储介质。该方法包括：获取约瑟夫森结阵在目标频率下的电压值序列；其中，目标频率为约瑟夫森结阵对应的微波辐照的频率；将电压值序列中出现频数最高的三个电压值，确定为约瑟...
- 曹文会李劲劲钟源钟青王雪深徐达徐晓龙
- 文献传递
- 可用于极低温测量的便捷芯片测试座
- 本发明公开了一种可在低温下实现对集成电路芯片进行稳定可靠电学测量的测试座。将需测试的芯片面朝金属弹簧针(7)放置于该测试座中，通过带弹簧系统的紫铜块(3)从芯片背面压紧样品，促使待测芯片通过耐低温的金属弹簧针(7)和金属...
- 钟源李劲劲曹文会钟青王雪深
- 文献传递
- 超导约瑟夫森结器件制备方法和超导约瑟夫森结器件
- 本申请提供一种超导约瑟夫森结器件制备方法和超导约瑟夫森结器件。通过超导约瑟夫森结器件制备方法制备的绝缘结构的表面具有倾斜角度。从而，使得引线层与绝缘结构接触时，接触面为倾斜的，解决了传统超导约瑟夫森结器件制备方法中形成的...
- 李劲劲曹文会钟源钟青王雪深徐骁龙
- 文献传递
- 一种约瑟夫森结阵的分段方法、装置、设备及介质
- 本发明涉及一种约瑟夫森结阵的分段方法、装置、设备及介质。本方法包括：首先给定一源整数数组，并对其进行处理得到新的数组，将目标可编程电压所需约瑟夫森结数按照一定的关系与新数组中的每个元素进行比较，根据比较结果从源数组中选择...
- 曹文会李劲劲杨二昆钟源钟青王雪深徐骁龙
- 用于量子电压基准中约瑟夫森结阵列的CMP平整化工艺研究被引量：2
- 2022年
- 化学机械平坦化(chemical mechanical planarization,CMP)工艺处理SiO_(2)绝缘层是一种获得高度集成化超导电路的关键技术,尤其适合于多层堆叠约瑟夫森结阵列器件的平整化。设计了应用于热氧化生长的SiO_(2)薄膜和化学气象沉积生长的SiO_(2)薄膜的CMP工艺,得出两种薄膜的抛光速率分别为2 nm/s和3 nm/s,晶圆的全局材料去除高度差均在20 nm以内。并将CMP工艺应用到约瑟夫森结阵列的制作流程,结单元结构AFM高度轮廓扫描显示台阶高度由240 nm减小到约25 nm,其上的SiO_(2)绝缘层2×2μm^(2)区域内的表面粗糙度为0.535 nm,提供了后续器件制备所需的工艺窗口。
- 赵欣曹文会李劲劲
- 关键词：计量学
