李世彬
- 作品数:97 被引量:70H指数:6
- 供职机构:电子科技大学更多>>
- 发文基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”中国人民解放军总装备部预研基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学电气工程文化科学更多>>
- 氢化硅薄膜的晶化机理研究被引量:5
- 2008年
- 采用PECVD工艺制备了非晶,微晶和多形硅薄膜,研究了电极间热梯度对氢化硅薄膜结构的影响.根据拉曼光谱得到了微晶硅的晶化率,并在椭偏仪中用BEMA模型验证了其准确性.根据理论模型研究了热梯度对微晶和多形硅薄膜沉积机理的影响.研究薄膜厚度对晶化率的影响表明微晶薄膜底端和表面之间存在晶化梯度,而多形硅薄膜中无晶化梯度存在.采用Tauc-Lorentz模型拟合得到薄膜的结构参数表明非晶硅薄膜的致密度和有序度低,而多形硅和微晶硅薄膜的有序度、致密度相近,且明显高于非晶硅.
- 李世彬吴志明李伟于军胜蒋亚东廖乃镘
- 关键词:晶化热梯度
- 一种制造柔性光电探测器的方法
- 本发明实施例公开了一种制造柔性光电探测器的方法,其将柔性光电探测器和和蓝光LED阵列集成,获得基于三基团Cs<Sub>5</Sub>FA<Sub>79</Sub>MA<Sub>16</Sub>PbI<Sub>2.5</S...
- 李世彬秦朝杰杨丹丹张婷
- 文献传递
- 一种制备黑硅材料的方法
- 本发明属于黑硅材料制备领域,具体涉及一种采用热蒸发和磁控溅射的方式制备硒硅复合膜,并利用飞秒激光刻蚀制备黑硅的方法。本发明通过在现有工艺中硒膜上溅射的一层硅膜作为保护层,减少了飞秒刻蚀过程中硫族元素的挥发,提高了掺杂含量...
- 吴志明唐菲杜玲艳李睿胡征李世彬李伟吴雪飞姬春晖
- 一种具有触觉信息感知功能的柔性电子皮肤器件
- 本发明公开了一种具有触觉信息感知功能的柔性电子皮肤器件,包括设置有多个平面电极的第一基板;设置有多个平面电极的第二基板,且第一基板上平面电极的数量与第二基板上平面电极的数量比为1:3;置于第一基板和第二基板之间的介电层,...
- 李世彬顾一丁王灿张婷
- 一种柔性光电转换装置及其制备方法
- 本发明实施例公开了一种制备柔性光电转换装置的方法及按照此方法制备的柔性光电转换装置。本发明的柔性光电转换装置重量轻、可弯曲、可广泛应用于曲面环境。而且,本发明中光电转换装置的各功能层都可在低温环境中制备,无需高温加热,对...
- 李世彬刘德涛陈皓张瑞王亚飞
- 文献传递
- 一种黑硅材料表面金属电极的制备方法
- 一种黑硅材料表面金属电极的制备方法,属于半导体光电子材料与器件技术领域。该方法包括:步骤1:化学镀前预处理;步骤2:用化学镀工艺在黑硅材料表面沉积一层过渡层;步骤3:干燥;步骤4:用蒸发或溅射工艺在过渡层上沉积金属电极层...
- 李伟李雨励赵国栋李世彬吴志明蒋亚东
- 一种室温下长波柔性红外探测器及其制备方法
- 本发明公开了一种室温下长波柔性红外探测器及其制备方法,基于Ti<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>材料的室温下长波柔性红外探测器响应度和响应速度均得以提高,并实现了室温下对长波红外波段光的探测。包括:室温下...
- 李世彬黄志茗张婷郝运晗
- 非晶硅微测辐射热计热学和光学分析
- 本文通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系,辐射功率和桥面温升之间的线性关系,并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证.根据光学导纳矩阵法,利用MatLab软件模拟微测辐射热计对红外线的吸收率,...
- 李世彬吴志明蒋亚东李伟廖乃镘
- 关键词:微测辐射热计非晶硅有限元
- 文献传递
- 衬底温度对用RF-PECVD法制备的非晶硅薄膜光学性能影响被引量:10
- 2007年
- 采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底温度的变化规律.光谱式椭圆偏振仪中用ForouhiBloomer(FB)模型拟合得到薄膜的折射率(n),消光系数(k),膜厚及光学禁带宽度(Eg),并用扫描电镜(SEM)断面分析对椭偏仪测试结果的准确性进行验证.根据Tauc公式推出薄膜的Eg和截止波长,并和FB模型得到的结果进行了比较,Eg(FB)和Eg(Tauc)的差值在0.015eV内.
- 李世彬吴志明朱魁鹏蒋亚东李伟廖乃镘
- 关键词:非晶硅光学常数
- 一种黑硅结构及其制造方法
- 本发明实施例公开了一种制造黑硅结构的方法,包括:获取P型硅衬底;在P型硅衬底上形成黑硅层;在黑硅层中掺入受主杂质,形成掺杂的黑硅层。本发明的实施例中,制成的黑体结构对可见光以及近红外光波段有良好的吸收性能、噪声电流低、信...
- 李世彬张鹏吴志明蒋亚东
- 文献传递