李庆国
- 作品数:20 被引量:82H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信化学工程机械工程更多>>
- 电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响被引量:18
- 2003年
- 运用电子束、离子辅助和离子束溅射三种镀膜工艺分别制备光学薄膜,包括单层氧化物薄膜和增透膜,然后采取一系列测试手段,如Zygo轮廓仪、原子力显微镜、表面热透镜技术和X射线衍射等技术,来分析和研究不同的工艺对这些薄膜性能的不同影响,以判断合理的沉积工艺。
- 王英剑李庆国范正修
- 关键词:电子束离子束溅射
- 高反射硅镜弱吸收的研究被引量:10
- 2001年
- 运用表面热透镜技术精确测量 1315nm高反射硅镜的弱吸收 ,并结合原子力显微镜所显示的薄膜表面情况判断引起吸收的原因 。
- 王英剑胡海洋李庆国范正修
- 关键词:原子力显微镜弱吸收
- 多波长He-Ne激光器的结构及工艺研究
- 1993年
- 一米放电长度的全外腔He-Ne管,采用棱镜腔片和宽带输出耦合腔片获得633nm0612nm,604nm,594nm和543nm五条谱线的独立振荡。提供了研制全内腔绿色He-Ne激光器的实验依据。
- 于澍生李庆国杜龙龙张蕾
- 关键词:氦氖激光器
- 变反射率镜非稳腔优化研究──超高斯途径被引量:8
- 1995年
- 分析了超高斯变反射率镜非稳腔的腔模和输出特性。以最高输出光束亮度为目标就其腔参数进行了优化研究和设计。f在20mm.口径钕玻璃激光介质上采用这种腔结构进行了实验研究,获得了数十焦耳近衍射极限的高亮度激光输出。远场合总能量80%的发散全角为0.192mrad,是衍射极限的1.9倍,输出能量是腔内损耗相当的普通非稳腔的92%。
- 常兵蔡希洁李庆国
- 关键词:超高斯变反射率镜非稳腔优化设计
- 波长1530~1570nm水晶波片增透膜
- 2001年
- 随着20世纪90年代后期因特网的蓬勃发展,对通信容量及传输速率提出无止境的要求,造就了DWDM系统的极大成功.光纤通讯器件跟电子器件初期发展一样,也是先从分立元件开始,任何光路经过元件的两面一定是要镀膜的,这些元件的薄膜种类很多,本文介绍的水晶波片增透膜就是其中之一.为使此元件在流水线作业上安装及校正的方便、可靠,要求镀制好增透膜的波片不仅有良好的光学性能,即满足波长1530 nm~1570 nm波段处的剩余反射率小于千分之二,而且要求镀好波片O光和E光的位相角差的正负误差范围控制在一定的界限内.为此,我们通过多次试验,优化膜系设计,不断地改变和寻找适当的镀膜工艺来镀制增透膜.目前,已基本满足此种波片的使用要求,并形成一定的小批量生产.(PH6)
- 宋永香李庆国王英剑
- 关键词:波长增透膜
- 波长1550nm水晶波片增透膜
- 水晶波片是一种双折射率的晶片,因此,在镀制增透膜时,不但要考虑其双折射率的增透效果,而且需满足晶体o光及e光的位相角延尺问题.从优化膜系设计,选择膜料,改变工艺来镀制增透膜,目前已基本满足水晶波片的使用要求,并形成小批量...
- 宋永香李庆国王英剑张蕾王靖
- 关键词:增透膜镀膜工艺
- 文献传递
- 1.064μ和0.532μ双波长增透膜
- 李庆国
- 1.064μ和0.532μ双波长增透膜是一种新型的倍频激光薄膜。它主要用于倍频晶体保护盒两个窗口的玻璃上,及用于双波长情况下的任何光学元件上,以减小表面的反射损失。采用三层等厚膜系,可以使玻璃单面的剩余反射率为:1.06...
- 关键词:
- 关键词:镀膜激光照射光学元件激光薄膜光学薄膜增透膜
- 电子枪、离子辅助和离子溅射三种工艺对增透膜性能的影响
- 本文在用电子枪、离子辅助和离子溅射三种工艺分别制备出增透膜后,运用一系列测试手段,如干涉仪、表血热透镜技术、X射线衍射等,来分析和研究这些薄膜性能的变化,判断出合理的沉积工艺。
- 王英剑李庆国易葵宋永香范正修
- 关键词:电子枪离子溅射干涉仪X射线衍射
- 文献传递
- 波长1315nm的石英窗口增透膜被引量:3
- 2000年
- 用 Ta2 O5/ Si O2 膜系镀制了石英窗口增透膜。并在优化膜系 ,改进膜厚控制后 ,使得 1 31 5nm波长单面剩余反射率降到 0 .0 5%。
- 宋永香王英剑王靖张蕾李庆国李如凤
- 关键词:增透膜
- 关于制备1315nm 45°入射高反射镜的实验研究被引量:3
- 2000年
- 从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作 ,为制备 1 31 5nm 4 5°高反射镜提供一些判断实验数据 ,并提出改进的方法 ,从而使制备的高反射膜取得满意的结果 :反射率大于 99.8%。
- 王英剑宋永香张蕾王靖李庆国
- 关键词:膜厚应力