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李文萍

作品数：18 被引量：7H指数：2
供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项科技部科学仪器设备升级改造专项项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 4篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 11篇电子束
  • 6篇束流
  • 5篇离子束
  • 4篇电子枪
  • 4篇纳米
  • 4篇聚焦离子束
  • 3篇透镜
  • 3篇库仑力
  • 3篇功率密度
  • 3篇高功率密度
  • 2篇电子显微镜
  • 2篇偏转
  • 2篇偏转器
  • 2篇微纳加工
  • 2篇物镜
  • 2篇显微镜
  • 2篇六氟化硫
  • 2篇纳米级
  • 2篇空间电荷效应
  • 2篇换气装置

机构

  • 13篇中国科学院
  • 11篇北京航空航天...
  • 3篇中国科学院大...

作者

  • 18篇李文萍
  • 9篇刘俊标
  • 7篇韩立
  • 5篇殷伯华
  • 3篇姚骏恩
  • 3篇王荣明
  • 3篇顾文琪
  • 3篇崔益民
  • 3篇赵伟霞
  • 2篇张春熹
  • 2篇袁水平
  • 2篇谭敏
  • 2篇霍荣岭
  • 2篇初明璋
  • 2篇孟凡念
  • 2篇董全林
  • 2篇马玉田
  • 2篇孙茂多
  • 2篇杨彦杰
  • 2篇于成交

传媒

  • 3篇电子显微学报
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇光电工程
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 1篇2006
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米制造和测量技术产业化的研究被引量：1
2006年
从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度，分析了纳米加工产业化面临的问题，并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术。多离子柬聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0．5～5μm的加工空白，并会在1～100nm尺度间实现自上至下技术和自下至上技术的有机结合。纳米测量技术产业化的研究中，以提高扫描探针技术的样品质量作为出发点。在聚焦离子束和扫描电镜平台上集成Ar离子束的“三束”显微镜能有效降低样品的损伤，大大推动了纳米测量技术的发展。
李文萍顾文琪
关键词：掩模板
大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法
本发明公开了大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法，包括聚光镜模块、过渡段模块、可动光阑模块、物镜模块和电子束通道；电子枪发射出的电子束经过聚光镜模块，在由聚光镜模块形成的磁场作用下，形成平行束；经过过渡段...
李文萍刘俊标韩立霍荣岭初明璋殷伯华薛虹陈志琪
一种聚焦离子束-电子束双束融合可控微纳加工的方法
本发明公开了一种聚焦离子束-电子束双束融合可控微纳加工的方法，通过综合考虑实际系统的像差以及空间电荷效应分别获得离子束和电子束三维束流密度分布，并依据系统的空间布局将双束融合成同步粒子束，获得高精度的双束融合可控微纳加工...
李文萍王荣明崔益民
文献传递
高功率密度的电子束聚焦装置
本发明公开了一种高功率密度的电子束聚焦装置，包括沿电子束发射方向依次设置的聚光镜模块、辅助聚光镜模块和物镜模块；所述聚光镜模块用于形成第一磁场，以使电子束形成交叉点；所述辅助聚光镜模块用于形成第二磁场，以使电子束的运动轨...
刘俊标王丽娟赵伟霞王岩董增雅王鹏飞李文萍殷伯华韩立
文献传递
纳米级多功能聚焦离子束光柱体的研究
聚焦离子束(Focused ion beam—FIB)技术兼具分辨率高和多功能的特点，适应了半导体产品微型化对微细加工提出的新要求，逐渐成为微电子领域必不可少的关键加工技术之一。聚焦离子束技术的发展和应用的扩展对FIB装...
李文萍
关键词：动态校正离子光学
文献传递
大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置
本发明公开了大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置，包括电子束通道管、聚光镜模块、过渡段模块、物镜模块、可动光阑模块、物镜光阑座和靶；聚光镜模块上端与电子枪连接，下端固连过渡段模块；过渡段模块下端固连物镜模块，物镜模块...
刘俊标韩立初明璋霍荣岭马玉田殷伯华谭敏李文萍
文献传递
电子束－离子束微纳米加工组合系统
本发明公开了一种电子束－离子束微纳米加工组合系统，电子束、离子束能同时工作，SEM中的电子可以和带正电的离子相结合，有效减小了样品表面因电荷积累引起的对观察与分析的影响。本发明电子束－离子束微纳米加工组合系统包括有法兰、...
王荣明崔益民孙倩李文萍姚骏恩
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电子显微镜用高压箱的换气装置
本发明公开一种电子显微镜用高压箱的换气装置，属于为高压箱换气使用的换气装置。该换气装置包括：四通组件、充气管路、抽气管路、排气管路和高压箱连接管路；四通组件设有四个管接头，每个管接头上均设有真空手动隔断阀；其中第一管接头...
董全林姚骏恩张春熹李文萍孙茂多袁水平于成交杨彦杰孟凡念
文献传递
大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法
本发明公开了大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法，包括聚光镜模块、过渡段模块、可动光阑模块、物镜模块和电子束通道；电子枪发射出的电子束经过聚光镜模块，在由聚光镜模块形成的磁场作用下，形成平行束；经过过渡段...
李文萍刘俊标韩立霍荣岭初明璋殷伯华薛虹陈志琪
文献传递
基于Matlab的磁透镜场分布计算与优化分析被引量：2
2020年
磁透镜聚焦是获得微束斑电子束的一种主要方法,磁透镜的场分布直接影响着电子束的品质。为了解决商业软件难以实现的磁透镜参数化设计,本文基于Matlab编制了计算磁透镜场分布的有限元法程序,实现了磁透镜参量的系列化设计,并搭建了磁场测量平台进行实验验证,仿真值与实验值的相对误差<5%。在此基础上,编制的程序能够对磁场值是否饱和进行实时判断,进而微调控饱和区域优化透镜结构消除磁饱和点。
史丽娜刘俊标李文萍李文萍
关键词：磁透镜磁场分布有限元法
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