您的位置： 专家智库 > >

杨岳

作品数：20 被引量：105H指数：5
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 2篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 9篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 12篇微型机械
  • 8篇微型泵
  • 6篇致动
  • 6篇硅
  • 3篇微机械
  • 2篇弹性模量
  • 2篇微构件
  • 2篇微细加工
  • 2篇铝膜
  • 2篇计算机
  • 2篇计算机仿真
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇硅微结构
  • 2篇仿真
  • 2篇腐蚀速率
  • 2篇泵腔
  • 2篇残余应力
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇等离子刻蚀

机构

  • 20篇清华大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 20篇杨岳
  • 17篇周兆英
  • 17篇叶雄英
  • 6篇李勇
  • 4篇王晓浩
  • 4篇李勇
  • 2篇崔天宏
  • 2篇熊沈蜀
  • 2篇江小宁
  • 2篇张文栋
  • 1篇才海男
  • 1篇张靖海
  • 1篇赵彦军
  • 1篇吕苗

传媒

  • 4篇仪器仪表学报
  • 3篇半导体技术
  • 2篇机械工程学报
  • 2篇中国机械工程
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇全国纳米科学...
  • 1篇中国科协第二...

年份

  • 2篇2000
  • 4篇1999
  • 1篇1998
  • 2篇1997
  • 5篇1996
  • 2篇1995
  • 4篇1994
共 20 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
微流量系统的基础技术研究被引量：37
1999年
介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。
周兆英叶雄英李勇杨岳熊沈蜀王晓浩张文栋才海男龚秋莲
关键词：微型机电系统微流量系统微型泵尺寸效应
硅微结构异向腐蚀技术及其计算机仿真系统研究
杨岳周兆英
关键词：计算机仿真系统结构
硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究被引量：9
1998年
本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。
崔天宏周兆英王晓浩叶雄英杨岳
关键词：微型机械微型泵
双金属热致动微型泵被引量：10
1996年
微型泵是一种重要的微型执行器，在微流体供给和控制、微量元素分析、芯片冷却系统等方面将有重要应用。本文利用硅微细加工技术制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型结构设计及双向驱动方式，它具有体积较小、工艺简单、易于集成，效率高和流量较大等特点。
杨岳周兆英叶雄英江小宁
关键词：微型泵双金属动力学特性等离子刻蚀微型机械
微小型泵及其制造测试技术研究
周兆英杨岳叶雄英李勇熊沈蜀王晓浩
该项目由国家自然科学重点基金和教委基金资助。微型机电系统是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域。微小型泵及其制造测试技术是其中的重要研究方向。该项目结合多种微小型泵和系统的新原理、设计制造、实验测量和初步应用等关键技术研究...
关键词：
关键词：微机械微细加工工艺微流量传感器
微型热致动器研究被引量：5
2000年
微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试。
杨岳周兆英叶雄英
关键词：微型机械微致动器
微型机械设计与制造工艺基础研究
杨岳
关键词：微型机械
微机械加工技术被引量：8
1994年
介绍了半导体加工技术、ＬＩＧＡ工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用，必将给人类的生产和生活带来巨大的变化。
杨岳周兆英叶雄英李勇
关键词：微机械加工LIGA
微型机械制造技术及微型泵研究
本文介绍了所研制的微机械零件、微型单向阀、微型致动器及微型泵等多种微型机械器件。微机械零件包括微涡轮、微弹簧、微传动齿轮和微凸轮传动机构等，并且实现了微传动齿轮和微凸轮机构的啮合传动。微型致动器采用热驱动方式，可以实现薄...
杨岳
关键词：微型阀微型泵
硅微热致动泵的关键加工工艺被引量：5
1999年
提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。
崔天宏周兆英王晓浩叶雄英杨岳张文栋吕苗赵彦军
关键词：微型机械微型泵
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0