武园浩
- 作品数：12 被引量：6H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 基于语义的仿真文件跨平台访问方法
- 2015年
- 针对目前仿真数据管理技术缺少文件语义访问接口支持的问题,提出基于语义的仿真文件跨平台访问方法,并开发了一个面向刻蚀机研发中仿真数据管理的语义文件系统。在工程需求分析的基础上,为实现仿真项目语义的结构化表达,开发了面向产品仿真领域的本体库。给出了基于语义的仿真项目访问形式化模型,并设计了基础的语义倒排索引结构及计算加速方法。介绍了所开发的原型系统,该系统能够屏蔽仿真文件的具体物理位置,使工程师实现基于语义而非物理位置的仿真文件访问、查询和共享。
- 武园浩田凌
- 关键词：仿真数据管理刻蚀机
- 基于本体的概念设计知识表示方法及知识管理系统
- 本发明提出一种基于本体的概念设计知识表示方法，包括：根据预设的功能语言库功能族结构和功能语言库流族结构对功能语言库中的词汇进行规整以整合相似功能；建立设计知识表示的本体模型，其中，所述知识表示的本体模型包括核心概念和基本...
- 田凌郭乾统武园浩
- 文献传递
- 基于特征的产品信息应用模式被引量：2
- 2012年
- 企业信息管理系统已经得到极大地普及,随着时间的推移,不少信息管理系统中逐渐积累了大量的数据。如何便捷有效地利用这些数据成为一个亟待解决的问题。论文提出一种基于特征的产品数据应用模式,通过特征的抽取、运算,针对性的解决企业信息管理系统中的数据深层次利用问题。最后,以某装备研发中心的具体案例说明该模式在信息管理系统中的应用。
- 魏轶彬田凌武园浩
- 关键词：特征抽取
- 基于二次优化策略的约束环内稀薄气体粘度修正被引量：1
- 2015年
- 针对传统基于连续流假设的N-S方程无法准确描述约束环内稀薄气体问题，采取二次优化策略，确定了CFD-ACE＋中基于努森数的粘度修正公式参数a、b的最优值分别为0．12和1．40。对约束环内气体流动进行模拟仿真，结果表明：利用本文中的粘度修正公式，可以使约束环内稀薄气体的模拟仿真结果与实验测量值相一致，该公式在较宽的入口流量范围（200—2000mL／min之间）内应用均可控制仿真结果的相对偏差在±3％之内，其精度满足实际工程需要；并且，获得粘度修正公式参数的方法同样适用其它微通道内稀薄气体的研究，对相同工况下类似刻蚀腔室内气流仿真、新机型设计等亦有很大的指导意义。
- 韩文彬冯涓武园浩段文睿
- 关键词：粘度修正稀薄气体
- 面向集成电路装备的多学科协同设计平台
- 针对集成电路装备研发过程中数据管理、应用集成与知识管理等问题，提出了面向集成电路装备的多学科协同设计平台的体系结构。通过构建融合数据空间的工程数据管理框架以支持多学科协同设计中丰富的数据类型与数据模式，并能够满足数据模式...
- 武园浩田凌
- 关键词：数据空间企业服务总线知识管理
- 产品数据管理系统的产品结构信息获取方法及系统
- 本发明提出一种产品数据管理系统的产品结构信息获取方法，包括以下步骤：访问磁盘文件库，以获取零部件信息，其中，磁盘文件库中预存有产品数据管理系统的零部件信息；建立零部件信息的缓存区，并将从磁盘文件库中获取的零部件信息保存在...
- 田凌武园浩
- 文献传递
- 基于本体的仿真物性参数适应性管理模型
- 2016年
- 为了解决不同领域的系统重复开发以及系统缺少动态增量式变化支持的问题,提出了基于本体的仿真物性参数适应性管理模型.在对仿真物性参数管理问题的通用业务与数据类型抽象的基础上,给出了其元模型的形式化定义与本体建模方法,并进一步给出其领域模型的建模方法与实例;分析了所提模型的领域适应性、动态扩展性以及数据的可进化性.最后,将基于该模型开发的系统应用于国内某ATM研发企业中,建立了面向柔性介质的可适应仿真物性参数管理系统,从而验证了所提模型的有效性.
- 武园浩罗攀峰张承巍田凌尤政
- 关键词：本体
- 基于多目标决策方法的反应离子刻蚀机约束环优化设计研究被引量：2
- 2015年
- 从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。
- 段文睿田凌武园浩王占松
- 关键词：多目标优化多目标决策
- 面向复杂产品数据管理的适应性模型研究
- 2013年
- 为了能够满足复杂产品研发过程中的不断迭代变化的产品数据管理需求,建立了面向复杂产品数据管理的适应性模型(APDM),给出了该模型的元模型的形式化定义,在此基础上建立了该模型的以产品结构为中心的领域模型表达框架,并以产品结构管理和文档版本演化为例分析证明了该模型的良好的表达能力与灵活性。设计了复杂产品适应性数据管理系统的体系结构以及基于可扩展标记语言(XML)格式的中性文件的异构系统产品数据交换接口,完成了适应性产品数据管理系统的开发,并通过在集成电路装备研发中的应用,验证了该模型的正确性与有效性。
- 武园浩田凌
- 关键词：数据管理
- 集成电路装备集成化研发平台被引量：1
- 2013年
- 针对集成电路装备研发中的数据集成、应用集成与知识集成问题,设计了集成电路装备集成化研发平台。该平台遵循一切皆为服务的设计原则,使用服务构建应用系统,对产品数据的访问也被封装为统一的数据访问服务供外界调用。给出了集成电路装备集成化产品组件数据视图,并融合数据空间技术完成了异构数据的形式化数据资源建模。给出了基于本体的知识项统一描述方式,在此基础上实现了基于知识推送的知识应用模式。介绍了自主开发的集成电路装备集成化研发平台,并结合PECVD设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性。
- 武园浩田凌
- 关键词：数据空间知识描述
