牛晓云
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
- 供职机构：四川大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 基于表面等离子体激元耦合相位板超聚焦透镜结构的优化设计被引量：6
- 2009年
- 基于银板超透镜和多带相位二元光学衍射理论,提出一种超聚焦透镜结构。利用时域有限差分和标量衍射理论数值分析显示,这种超透镜在可见光范围,具有单一焦点,焦斑尺寸约0.36 λ,聚焦位置和焦深可达10 λ以上,在近场光学扫描显微镜和超分辨成像及光刻等系统中有潜在应用前景。
- 张志友杜惊雷李敏牛晓云
- 关键词：光学设计表面等离子体激元超分辨
- 无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究
- 2009年
- 多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计算多束SPPS干涉光刻成像的仿真软件.模拟和分析表明,该模型及软件计算准确、快速,达到预期效果,为实现无掩模SPPs干涉光刻全过程模拟和曝光实验研究的开展提供了技术支撑.
- 郑宇王景全金凤泽张志友牛晓云杜惊雷
- 关键词：干涉光刻模拟软件混合编程
- 超分辨干涉光刻的波导器件
- 超分辨干涉光刻的波导器件是带有三明治波导层的底部镀有纳米厚度金属膜的梯形棱镜。其中波导层是由折射率不同的介质构成，数十纳米厚度的折射率为n<Sub>2</Sub>的介质和折射率为n<Sub>3</Sub>的介质嵌套在棱镜...
- 王景全牛晓云杜惊雷郭永康
- 文献传递
- SPPs光刻曝光显影模拟研究被引量：2
- 2010年
- 基于薄层抗蚀剂的曝光模型,建立了普遍适应于表面等离子体激元光刻的抗蚀剂曝光模型.选用AZ1500和AR3170两种抗蚀剂对表面等离子体激元干涉光刻曝光显影过程进行计算对比,获得表面等离子体激元光刻显影的最终轮廓.由此得出工艺优化的条件,对表面等离子体激元光刻的进一步工作和实验开展有着重要的意义.
- 郑宇王景全李敏牛晓云杜惊雷
- 关键词：干涉光刻
