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田卫东

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：东北大学理学院物理系更多>>
相关领域：理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频溅射
  • 1篇铁氧体
  • 1篇溅射
  • 1篇BA铁氧体
  • 1篇磁性

机构

  • 1篇东北大学

作者

  • 1篇胡全利
  • 1篇鲜于泽
  • 1篇成正维
  • 1篇田卫东

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ba铁氧体溅射薄膜的研究被引量：3
1994年
研究了射频溅射制备Ｂａ铁氧体薄膜的成膜条件对晶化、晶体结构及磁性能的影响。我们的工作表明，为了使射频溅射Ｂａ铁氧体薄膜形成磁铅石结构的晶体，基板温度需高于６００℃，更高的基板温度可获得好的Ｃ轴垂直取向。非晶膜经热处理晶化所需温度要比直接溅射温度高得多。过大、过小的氧气分压不利于垂直膜的生成。使用挡板对最小溅射角限制以后，可在小的基板－靶间距情况下定得Ｃ轴垂直取向的薄膜。
成正维田卫东胡全利严雪琴鲜于泽
关键词：BA铁氧体磁性铁氧体射频溅射
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