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白玉琦

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇电路
  • 4篇集成电路
  • 4篇超大规模集成
  • 4篇超大规模集成...
  • 4篇大规模集成电...
  • 2篇单片
  • 2篇样片
  • 2篇圆筒
  • 2篇真空阀
  • 2篇真空阀门
  • 2篇真空机组
  • 2篇气路系统
  • 2篇子系统
  • 2篇自动控制
  • 2篇自动控制系统
  • 2篇微机控制
  • 2篇晶格
  • 2篇晶片
  • 2篇控制系统
  • 2篇控制装置

机构

  • 7篇清华大学

作者

  • 7篇白玉琦
  • 6篇陈必贤
  • 6篇林惠旺
  • 4篇梁聚宝
  • 4篇钱佩信
  • 4篇刘荣华
  • 2篇罗广礼
  • 2篇黄文韬
  • 2篇刘志弘
  • 2篇陈长春
  • 2篇金晓军
  • 2篇陈培毅
  • 2篇王舜远
  • 2篇韩勇
  • 1篇张涛
  • 1篇朱凯
  • 1篇贾庆山
  • 1篇陆耿

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2001
  • 1篇1999
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
超高真空化学气相淀积外延系统
本发明属于生长超大规模集成电路薄膜材料技术领域,包括外延生长室及其加热装置,预处理装片室,磁传动传送片机构,气路系统,热电偶与光测高温计,加热电源,高真空机组抽气系统,尾气处理装置以及计算机自动控制系统;加热装置由固定在...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华韩勇金晓军罗广礼陈培毅陈必贤白玉琦
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单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统
单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统属于超大规模集成电路薄膜外延生长和超晶格薄膜材料生长技术领域，除了高真空机组、气路装置、尾气处理装置、测温控温装置、加热电源、计算机控制装置以外，其特征在于，它含有：反应腔；...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华刘志弘白玉琦陈必贤黄文韬陈长春
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基于神经网络验证的无人平台协同体系韧性度量方法
本发明公开了基于神经网络验证的无人平台协同体系韧性度量方法，该方法包括：面向多样化的无人平台协同方案，获取能遍历效能评估过程所有可能情况的参数组合及其样本数据集；构建人工神经元网络，采用随机梯度下降的方式训练效能预测模型...
张涛朱凯白玉琦陆耿贾庆山
单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统
单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统属于超大规模集成电路薄膜外延生长和超晶格薄膜材料生长技术领域，除了高真空机组、气路装置、尾气处理装置、测温控温装置、加热电源、计算机控制装置以外，其特征在于，它含有：反应腔；...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华刘志弘白玉琦陈必贤黄文韬陈长春
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带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备
带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备属于超大规模集成电路(ULSI)工艺技术领域，其特征在于，它主要包含有：竖立安装的热处理腔、装片腔、半导体晶片升降机构；还包含片盒到片盒取送片机械手子系统、微机控制子系统、测控温子系...
林惠旺陈必贤王舜远白玉琦
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带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备
带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备属于超大规模集成电路(ULSI)工艺技术领域，其特征在于，它主要包含有：竖立安装的热处理腔、装片腔、半导体晶片升降机构；还包含片盒到片盒取送片机械手子系统、微机控制子系统、测控温子系...
林惠旺陈必贤王舜远白玉琦
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超高真空化学气相淀积外延系统
本发明属于生长超大规模集成电路薄膜材料技术领域，包括外延生长室及其加热装置，预处理装片室，磁传动传送片机构，气路系统，热电偶与光测高温计，加热电源，高真空机组抽气系统，尾气处理装置以及计算机自动控制系统；加热装置由固定在...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华韩勇金晓军罗广礼陈培毅陈必贤白玉琦
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