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罗志清

作品数：1 被引量：13H指数：1
供职机构：华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇PECVD
  • 1篇ZNO:AL
  • 1篇AZO

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇刘明海
  • 1篇罗志清
  • 1篇刘玉萍
  • 1篇胡希伟
  • 1篇陈兆权
  • 1篇陈伟

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PECVD制备AZO(ZnO：Al)透明导电薄膜被引量：13
2009年
采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在普通玻璃和Si基上制备出了方块电阻低至89Ω,可见光透过率高达79%,对基体附着力强的多晶态的AZO(ZnO:Al)薄膜.采用PECVD法制备AZO薄膜是一种有益的尝试,AZO透明导电薄膜不仅具有与ITO(透明导电薄膜,如In2O3:Sn)可比拟的光电特性,而且价格低廉、无毒,在氢等离子体环境中更稳定,所获结果对实际工艺条件的选择具有一定借鉴作用和参考价值.
陈兆权刘明海刘玉萍陈伟罗志清胡希伟
关键词：等离子体增强化学气相沉积透明导电薄膜
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