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罗志清
作品数:
1
被引量:13
H指数:1
供职机构:
华中科技大学电气与电子工程学院
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发文基金:
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合作作者
陈伟
华中科技大学电气与电子工程学院
陈兆权
华中科技大学电气与电子工程学院
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华中科技大学电气与电子工程学院
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华中科技大学电气与电子工程学院
刘明海
华中科技大学电气与电子工程学院
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2009
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PECVD制备AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜
被引量:13
2009年
采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在普通玻璃和Si基上制备出了方块电阻低至89Ω,可见光透过率高达79%,对基体附着力强的多晶态的AZO(ZnO:Al)薄膜.采用PECVD法制备AZO薄膜是一种有益的尝试,AZO透明导电薄膜不仅具有与ITO(透明导电薄膜,如In2O3:Sn)可比拟的光电特性,而且价格低廉、无毒,在氢等离子体环境中更稳定,所获结果对实际工艺条件的选择具有一定借鉴作用和参考价值.
陈兆权
刘明海
刘玉萍
陈伟
罗志清
胡希伟
关键词:
等离子体增强化学气相沉积
透明导电薄膜
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