罗杨
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 提高晶圆扫描效率的方法研究
- 2014年
- 从测试晶圆上未划切的手机摄像头芯片引出一个问题:如何快速确定晶圆的有效测试范围,提出了"全片扫描"和"边缘扫描"两种方法,阐述实现原理后,分析各自的优缺点,利用实验数据进行效率对比,发现"边缘扫描"效率更高。
- 罗杨
- 关键词：晶圆测试
- PG-510型单面抛光机的研制被引量：4
- 2010年
- 介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控制方案,并通过实验验证了设备的主要性能指标,能够满足蓝宝石衬底表面纳米级抛光的工艺要求。
- 刘涛高慧莹罗杨费玖海
- 关键词：蓝宝石CMP工艺
- 提高探针台测试效率的方法研究被引量：3
- 2014年
- 分析探针台的自动测试流程,从减少运动次数和时序重合两方面提出了几种提高探针台测试效率的方法,说明其实现原理,并用实际测试的数据,证明这些方法对效率确有提高。
- 罗杨
