董雷
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：清华大学工程物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自然科学总论一般工业技术电子电信更多>>
- 微机控制聚焦离子束扫描装置的研制与实验
- 1989年
- 一、引言近年来,人们对FIB(聚焦离子束)装置用于大规模集喊电路制作的离子束曝光技术产生了很大兴趣。离子束曝光对抗蚀剂材料有较高的灵敏度。
- 董雷王克礼张化一
- 关键词：聚焦离子束微机控制电路制作离子束刻蚀键盘控制集成运算放大器
- 离子探针形成透镜的设计
- 1992年
- 计算了利用液态金属离子源获得亚微米探针时透镜所必须满足的色差系数的限制.通过改进的面电荷密度法计算程序,可在微机上把计算一个静电透镜的场分布和光学参数的时间缩短到3min.设计了一个低色差长焦距的四电级透镜,在离子源能散为 10 eV,角发射电流密度为 20 μA/sr,束能量为 30 keV时,可获得束流为1nA,柬径为0.1μm的离子探针,工作距离为50 mm.
- 陈文雄董雷王克礼
- 关键词：离子探针长焦距
- 积分方程用于静电透镜优化设计及微机控制聚集离子束扫描系统的研制
- 董雷
- 扫描电镜中场发射电子枪透镜的象差
- 在扫描电镜中,如果要求在高加速电压时获得非常高(～1nm)的分辨率,而同时在低加速电压下(≤2RV)仍有较高的(～5nm)的分辨率,必须采用高亮度的场发射源。由于场发射源的电子发射基本上是径向的,它的电子光学(虚)源尺寸...
- 陈文雄董雷
- 文献传递
