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蒋玉兰
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
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合作作者
余海生
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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年份
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1991
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水平法生长GaSb单晶的研究
被引量:1
1991年
本文采用独特的工艺和装置,用水平法研制GaSb单晶.已获得不掺杂p型晶体,室温下其载流子浓度和迁移率分别为1.0~1.7×10^(17)cm^(-3)和630~780cm^2/V·s;渗Te的n型单晶两者分别为1.4×10^(18)cm^(-3)和2690cm^2/V·s,成晶率大于50%.本文还探讨了研制过程中存在的几个问题.
余海生
蒋玉兰
胡建
廖丽英
关键词:
水平法
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