韩海军
- 作品数：6 被引量：13H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 面向晶圆传输的接触面微力与粘滑传感器研究
- 晶圆传输机器人是集成电路（IC）制造领域的关键设备之一，承担着晶圆的精确定位与快速、平稳的搬运任务。末端执行器是晶圆传输机器人的重要组成部分，在晶圆传输过程中与晶圆直接接触，对晶圆的变形和传输效率有着重要影响。在真空环境...
- 韩海军
- 关键词：传感器设计
- 文献传递
- 基于拉格朗日乘子法的Delta并联机器人简化刚体动力学建模方法被引量：6
- 2015年
- 针对广泛应用于高速抓放操作的Delta并联机器人,提出了一种基于拉格朗日乘子法的刚体动力学建模方法,并利用约束方程的全微分求解出了动力学模型的显示表达式。建立了机器人的逆运动学以及刚体动力学模型,考虑机器人从动臂臂杆为轻质碳纤维杆,两端为较重的金属附件的特点,建立了简化刚体动力学模型。并针对机器人常用的高速抓放轨迹进行仿真,将简化前后的2种动力学模型与ADAMS仿真结果进行对比。
- 王刚刘延杰吴明月韩海军
- 关键词：并联机器人
- 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面与粘滑传感器研究
- 集成电路（IC）产业是国民经济和社会发展的基础先导战略性产业。IC制造要求半导体晶圆在数百道工艺之间频繁传输，晶圆传输能力对于整个IC产业发展具有至关重要的作用。晶圆传输机器人承担着晶圆的准确定位与快速平稳搬运任务，是 ...
- 韩海军
- 一种基于多轴工业机器人的非线性同步控制方法被引量：5
- 2015年
- 为了提高机器人的末端轨迹精度,提出了一种基于六轴工业机器人的包含位置误差和同步误差的非线性PD偏差耦合控制策略。该策略无需考虑机器人精确的动力学模型参数,避免了不精确动力学参数的影响。首先建立了基于IRB120型虚拟样机的动力学模型,再利用Simulink和Adams进行联合仿真验证该策略的合理性。仿真结果表明,利用该方法与基于相同规划轨迹的传统非同步控制的力矩前馈算法和PD同步控制算法进行比较,有效地降低了关节同步误差,提高了末端的轨迹精度。
- 储婷婷刘延杰韩海军
- 关键词：虚拟样机
- 一种考虑柔性的码垛机器人动力学性能优化方法
- 2015年
- 提出一种考虑关节柔性影响的高速重载码垛机器人动力学性能优化方法。首先,考虑关节柔性的影响,建立了刚柔耦合动力学方程;随后进行了模态分析以及受迫振动分析;提出以最低阶固有频率最大和各关节驱动力矩基于目标轨迹上的最大值最小作为动力学优化目标;最后构造有约束的多目标优化问题,并利用遗传算法对该多目标优化问题进行求解。优化结果表明,机器人的动力学性能明显改善,说明优化方法合理有效。
- 刘延杰马清伍梁乐韩海军
- 关键词：高速重载动态特性多目标优化
- IC晶圆高效稳定传输原理与实现被引量：2
- 2013年
- 在超大规模集成电路(IC)制造过程中,晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输,晶圆传输能力对整个IC产业的发展至关重要。晶圆传输机器人是IC制造领域的关键设备之一,承担着晶圆定位与快速、平稳搬运任务。随着IC制造向着大尺寸(直径≥300mm)晶圆与小线宽(≤32nm)方向发展,晶圆生产线工序更集中,加工速度更快,工作环境更洁净,这对晶圆传输机器人性能提出了更高要求。为了实现大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输,我们从晶圆传输机器人精确平稳轨迹跟踪控制、面向晶圆传输的微阵列传输面设计以及接触面微力与粘滑检测触觉传感器设计等3个方面开展了研究。针对现有晶圆传输机器人样机中各个运动关节不同步和末端手的振动问题,我们提出把交叉耦合控制技术和输入整形控制同时应用到平面关节型晶圆传输机器人中,达到减小轨迹跟踪时的轮廓误差和消除柔性传动环节引起的末端执行器振动的目的,实现了机器人精确平稳轨迹跟踪控制。针对目前凸点支承式末端执行器传输晶圆时摩擦系数较小、传输效率低下的不足,我们提出了一种基于微米级垂直微阵列结构的新型晶圆传输面设计方法,实验表明该方法有效提高了晶圆传输加速度,可显著提高晶圆传输效率。针对大尺寸晶圆高效可靠传输过程中接触信息检测需求,我们提出了一种新型的晶圆传输接触面微力与粘滑传感器系统方案,即利用压敏导电墨(PSCI)的压阻效应实现三维力测量以及利用电磁感应原理实现粘滑检测,并通过实验验证了该方法的可行性。本文依次从问题提出、国内外研究现状分析、研究特色与实验验证等方面分别对上述3个部分的研究内容进行了分析与阐述。最后,结合上述分析,本文对现阶段的研究成果进行了总结,并提出了下一步的研究设想。
- 韩海军刘延杰荣伟彬孙立宁
- 关键词：触觉传感器
